真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實現(xiàn)漏孔的； 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以，能實現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現(xiàn)一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。 當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。 當(dāng)泄漏氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。 在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標準的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據(jù)氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結(jié)了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點和檢測標準。

得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標。

1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應(yīng)清除時間: 當(dāng)一定流量的勘探氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，漏率指示器可以達到較大值，漏率指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應(yīng)時間。

3.啟動時間: 氦質(zhì)譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間

氦質(zhì)譜檢漏儀的功能特點：

1、支持正壓檢漏，負壓檢漏。

2、自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果。

3、優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)。

4、高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?。

5、支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底。

6、機器的性能支持長時間在線測試。

7、機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試。

8、配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷。

9、雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計，防大氣沖擊。

10、支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。

氦質(zhì)譜檢漏儀，氣密性檢測儀的選擇

氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

用于電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。

小可檢漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率顯圍: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

啟動時間: ≤5min

響應(yīng)時間: <2S

檢漏口高壓力: 300Pa

極限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG