真空系統(tǒng)一般包括：

1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。

2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。

3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4）冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

5）檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

6）真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

7）標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來校準(zhǔn)儀器的小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標(biāo)。

檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴(yán)重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。

我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質(zhì)荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離，這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。

檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來完成，而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。

氦質(zhì)譜儀查漏技術(shù)介紹

氦質(zhì)譜儀查漏法是一-種在線式、易操作，且靈敏度高、抗干擾的監(jiān)測方法。其在各行業(yè)查漏應(yīng)用中，有真空法、正壓法、真空壓力法、背壓法等4種方法。而在各發(fā)電廠的查漏工作中，多采用真空法和正壓法。發(fā)電機及壓力容器、壓力管道等的氣密性檢查多采用正壓法，而汽輪機真空系統(tǒng)查漏則多采用真空法進行氨質(zhì)譜檢漏。

該方法使用的氣體噴逐塊、逐區(qū)域地對汽輪機真空系統(tǒng)各設(shè)備、各部位噴射氦氣。如果某處存在泄漏點，作為檢漏示蹤氣體的復(fù)氣將隨同環(huán)境中的空氣被吸人，終從真空泵氣水分離器排放管排出，通過監(jiān)測探頭在抽氣器出口抽吸氦氣及其他不凝性氣體形成的混合氣體，并通過氮質(zhì)譜儀內(nèi)的質(zhì)譜分析功能，分析氮氣分子顆粒在靶板上的物質(zhì)量,判斷被檢位置的泄漏空氣相對量17-81。

在檢漏過程中，根據(jù)氦質(zhì)譜儀顯示屏上示數(shù)變化的情況，判斷被檢位置是否泄漏，及泄漏的程度。