尼爾博士將設(shè)計(jì)圖紙全部交給了通用電氣公司并簽訂了合同，不久后，橡樹嶺擴(kuò)散工廠所用的氦質(zhì)譜檢漏儀便全是由美國通用電氣公司生產(chǎn)的，在生產(chǎn)過程中, 又作了不少的改進(jìn)。擴(kuò)散泵前增加的冷阱便是為改進(jìn)氦質(zhì)譜檢漏儀所作的新貢獻(xiàn)。

1946年初，真空電子工程公司與電動(dòng)力學(xué)公司合并后也開始生產(chǎn)銷售的氦質(zhì)譜檢漏儀。當(dāng)時(shí), 通用電氣公司的氦質(zhì)譜檢漏儀已有若干個(gè)型號的產(chǎn)品。真空電子工程公司是由戰(zhàn)時(shí)的Kellex公司的檢漏小組的幾位研究生創(chuàng)辦的，他們是銳伯,尼爾肯。60年代后, 通用電氣公司不再生產(chǎn)檢漏儀。幾經(jīng)合并后, 檢漏儀由Ametek公司生產(chǎn)。真空電子工程公司生產(chǎn)的檢漏儀基本上籠斷了這個(gè)領(lǐng)域達(dá)40年之久?，F(xiàn)在用戶已可以自由選擇國內(nèi)外生產(chǎn)的不同型號、規(guī)格的氦質(zhì)譜檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。

（1）質(zhì)譜室

不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中

1）離子源

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發(fā)射電子，在離化室與燈絲之間的電場的作用下，電子加速穿過離化室頂部狹縫進(jìn)入離化室，在離化室中與氣體分子發(fā)生多次碰撞后損失能量，打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場對離子做的功轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子的動(dòng)能，便形成具有一定能量的離子束。由于離子是由中性氣體分子失去Z個(gè)帶負(fù)電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場的加速，當(dāng)它們的電荷量相等時(shí)，它們的能量相等，但由于質(zhì)荷比不同，故運(yùn)動(dòng)速度也就不同。

怎么樣影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度

溫度對檢測的影響

對于處于密閉容器的氣體而言，當(dāng)溫度升高時(shí)，其內(nèi)部的壓力也隨之升高。因而溫度的變化不可避免地成為影響壓力變化的重要因素。一般估計(jì)這種影響的范圍大致在溫度每變化1℃引起的壓力變化為0.36%的測量壓力值。因而，隨測試壓力的提高，溫度的影響會(huì)變得明顯。

受到檢測容積的影響

在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測量容積，那么可能會(huì)無法達(dá)到測量需要的度和靈敏度。