氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

分析器

分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成，如圖4所示。磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。

由離子源出來的離子束射入它垂直的磁通密度為B的均勻磁場(chǎng)分析器中后，由于分析場(chǎng)中電場(chǎng)為零，所以離子僅受磁場(chǎng)的洛倫茲力作用而作半徑為R的圓周運(yùn)動(dòng)。偏轉(zhuǎn)半徑R與質(zhì)荷比M/Ze有關(guān)，當(dāng)B及U一定時(shí)，相同質(zhì)荷比的離子具有相同的運(yùn)動(dòng)半徑，不同質(zhì)荷比的離子將以不同的半徑偏轉(zhuǎn)而彼此分開。質(zhì)荷比小的偏轉(zhuǎn)半徑小，質(zhì)荷比大的偏轉(zhuǎn)半徑大。在偏轉(zhuǎn)180°處，用一分析器出口電極將其他離子擋住，而使氦離子軌道對(duì)準(zhǔn)出口電極上的狹縫，氦離子穿過狹縫到達(dá)離子收集極形成氦離子流。

氦質(zhì)譜檢漏儀在科技時(shí)代的市場(chǎng)應(yīng)用和發(fā)展

科技信息化不斷更新迭代的市場(chǎng)，氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面過去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的一個(gè)需求，而且對(duì)檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設(shè)備使更新，另一方面每個(gè)行業(yè)的不足都在進(jìn)步的過程，缺陷與不足相互補(bǔ)充，相互促進(jìn)。而現(xiàn)在的氦質(zhì)譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領(lǐng)域上都有新的突破。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對(duì)真空設(shè)備和密封器件的漏隙進(jìn)行定位或定量、定性測(cè)量的完整系統(tǒng)。

我們知道氣體在電子的轟擊下會(huì)產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在電場(chǎng)的作用下獲得能量做加速動(dòng)力，而在磁場(chǎng)的作用下將做圓周運(yùn)動(dòng)，而具有不同質(zhì)荷比的離子其運(yùn)動(dòng)半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場(chǎng)的作用下按荷質(zhì)比分離，這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)并依質(zhì)荷比進(jìn)行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用。

檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標(biāo)準(zhǔn)檢漏技術(shù)來完成，而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。