目前氦檢技術(shù)在空調(diào)兩器生產(chǎn)中的應(yīng)用情況

由于氦質(zhì)譜檢漏儀具有靈敏度高、反應(yīng)快、度高、準(zhǔn)確定位、安全等優(yōu)勢(shì)，其它水檢等檢漏方法已逐步被取代。目前空調(diào)器生產(chǎn)用氦氣做示蹤氣體的氦檢漏方法包括吸法和真空箱檢漏法。

吸氦檢法是在工件內(nèi)充入氦氣，用氦質(zhì)譜檢漏儀的吸嘴在待檢工件表面掃描，吸吸入的氣體經(jīng)節(jié)流后流入檢漏儀質(zhì)譜室，根據(jù)檢出的氦氣分壓強(qiáng)的大小來判斷漏孔的有無和大小。這種方法具有較高的精度。但它也有其明顯的不足之處。①需要逐步檢漏漏點(diǎn)，而空調(diào)器的焊點(diǎn)多達(dá)幾百處，所以單獨(dú)使用效率低；②吸法的精度與多種因素有關(guān)，如果吸與漏孔距離大于10mm時(shí)，所檢漏率只有實(shí)際漏率的3~5%，如果吸的移動(dòng)速度達(dá)到16mm/s，靈敏度將降到30%。由此可見，操作不當(dāng)極易產(chǎn)生漏檢；③吸法只能測(cè)單個(gè)漏點(diǎn)是否超標(biāo)，而不能判斷整體漏率情況。因以上幾點(diǎn)不足，實(shí)際生產(chǎn)中，吸法一般配合真空箱法使用，當(dāng)真空箱法檢出不合格工件時(shí)，用吸法來找出不合格件的漏點(diǎn)所在。真空箱法是將充有氦氣的工件放入箱內(nèi)，然后對(duì)箱內(nèi)抽真空，用氦質(zhì)譜檢漏儀探測(cè)真空箱內(nèi)的氦氣質(zhì)量，推算出工件的實(shí)際氦漏率，該方法檢漏便于迅速判斷工件有無泄漏，可以稱為“把關(guān)式”檢漏法。在正常情況下，可以保證不漏檢，真空箱設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀精度可以達(dá)到10-12Pa.m3.s-1(He)。實(shí)際生產(chǎn)中，由于考慮生產(chǎn)節(jié)拍（20~30秒），一般可以檢漏率為4X10-7Pa.m3.s-1。相當(dāng)于0.5g/年（R22的漏率），完全滿足家用空調(diào)器的檢漏需要。真空箱氦檢法的缺點(diǎn)是不能發(fā)現(xiàn)工件的具體漏點(diǎn)，所以需增加吸法來找出不合格件的具體漏點(diǎn)。

真空箱檢漏法。

真空泄漏中的實(shí)漏、虛漏、外漏、內(nèi)漏

大部分真空系統(tǒng)的表現(xiàn)會(huì)隨時(shí)間的推移而變化，特別是用于生產(chǎn)的真空設(shè)備，幾乎不可避免地會(huì)發(fā)生真空度下降等問題，造成這些問題的一個(gè)很常見的原因就是泄漏。

定期的泄漏檢測(cè)很重要

大的泄漏通常會(huì)非常明顯：真空腔體壓力未按正常速度下降，或者極限壓力明顯高于正常值。然而，有些時(shí)候，由于真空泵可以輕松處理泄漏氣體造成的氣載，小的泄漏很難被發(fā)現(xiàn)，這時(shí)，即使真空計(jì)的讀數(shù)仍然在正常的水平，泄漏的出現(xiàn)仍有可能為真空腔體帶來期望之外的氣體（如氧氣），這些氣體有時(shí)候會(huì)對(duì)工藝過程（比如某些鍍膜工藝）帶來非常嚴(yán)重的影響。所以，無論真空系統(tǒng)的壓力是否有明顯下降，都應(yīng)該定期進(jìn)行泄漏檢測(cè)。

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在真實(shí)的泄漏

壓降曲線分析

真空系統(tǒng)的歷史數(shù)據(jù)是了解大型真空系統(tǒng)性能的有價(jià)值的工具之一，經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人員會(huì)精心地保留歷史數(shù)據(jù)，通過將當(dāng)前的壓降曲線與系統(tǒng)處于良好狀態(tài)時(shí)的上一個(gè)循環(huán)進(jìn)行比較就可以快速的判斷問題原因。比如，通過下圖所示的壓降曲線，就可以判斷是否存在泄漏。

工藝條件不變并且真空泵運(yùn)行正常的情況下，如果存在真實(shí)的泄漏，從外部漏入腔室的氣體將導(dǎo)致腔體的壓力下降到比正常極限壓力偏高的位置時(shí)便不再下降或下降極慢，壓降曲線類似于上圖上方曲線。存在放氣或虛漏時(shí)，氣體緩慢釋放并且放氣率越來越小，系統(tǒng)能達(dá)到原來的極限壓力但是達(dá)到極限壓力的時(shí)間明顯變慢，壓降曲線與上圖中間那條曲線類似。