氦質譜檢漏儀

標準漏孔的自身要符合相關的質量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質的檢定機構；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。

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氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

氦質譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質譜檢漏儀關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。