高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。

高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領(lǐng)域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。管道連接采用焊接，內(nèi)壁無瘢痕的對接焊，高純氬氣保護焊，在專用的潔凈室內(nèi)進行。

 高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體

無機高純氣體

1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等；抗腐蝕性微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發(fā)生安全事故。2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等；3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、　 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等

高純氣體 高純氫氣

純度(V/V)：99.999%

執(zhí)行標準 ：國標

產(chǎn)品介紹 ：

，無色無味氣體。 用于合成氨和甲醇等、石油l精制，有機物氫化及。

使用要求

氫氣是的氣體，和氟、氯、氧、一氧化碳以及空氣混合均有爆l炸的危險，其中，氫和氟的混合物在低溫和黑暗環(huán)境就能發(fā)生自發(fā)性爆l炸，與氯的混合為1：1時，在光照下也可爆l炸。

檢修或處理氫氣管道、設(shè)備、氣瓶之前，必須先用氮氣將氫氣置換到符合動火規(guī)定，方能開始工作。瓶裝氫在使用時開啟瓶閥要緩慢。

瓶裝氫氣應存在無明火、遠離熱源、通風良好、離氧化劑氣瓶及可燃材料遠的地方，氫氣瓶的庫房的建筑、電氣、耐火、防爆、要求等應符合防火規(guī)范。