光波超精密技術(shù)研究院——花崗石氣浮導(dǎo)軌平臺

在兩個互相運動的平面之間有一個空隙 h (通常是幾個微米到幾十個微米)，被支撐件的下平面上有一個面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過節(jié)流器流動時，壓力下降到 P。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計時，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時，間隙就會立即減小.因為流經(jīng)間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會大大降低，從而使外加載 F自動增大.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——花崗石氣浮導(dǎo)軌平臺

氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來的獨特機制。利用真空復(fù)i制使載體臺架在導(dǎo)軌上，消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實現(xiàn)納米級定位。

使用空氣可大大減少運行時的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤滑要求，而且污染和除氣問題也已經(jīng)過時。

與納米級精i確度相比，高速操作可同時提高產(chǎn)量和質(zhì)量，與傳統(tǒng)潤滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù)，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級的精度，而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機時間，提高操作效率

光波超精密——花崗石氣浮導(dǎo)軌平臺

用大理石氣浮導(dǎo)軌的要求，當(dāng)運動件沿承導(dǎo)件作直線運動時，承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支撐和引導(dǎo)作用.為保證花崗石氣浮導(dǎo)軌作用的實現(xiàn)，設(shè)計時應(yīng)滿足以下要求：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度.設(shè)計時，導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中需磨損，操作時應(yīng)輕便、省力.低速時不需爬行.2.運動件所受的外力作用.6.結(jié)構(gòu)工藝性好.有花崗石氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點.因此，花崗石氣浮導(dǎo)軌必須具備良好的性能，才能滿足花崗石氣浮導(dǎo)軌的要求。

彈珠氣浮導(dǎo)軌的材質(zhì)要求

彈珠式氣浮導(dǎo)軌是采用氣體靜壓 zhou軸承技術(shù)制造的，因此它具有軸徑向跳動小，重復(fù)定位精度高，加載驅(qū)動力小，能夠在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)地工作等特點.為保證氣浮導(dǎo)軌具有這些性能.要求它在選擇制造材料時，必須具備下列特點：

導(dǎo)熱性良好，隨時間和空間變化，隨著溫度的變化，進(jìn)而引起部件內(nèi)部的溫度梯度，從而引起機械結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲；2熱膨脹系數(shù)小，在溫度變化時，避免造成過大的伸長縮短；

滾動導(dǎo)軌是直線導(dǎo)軌的一種。滾動直線滑軌是一種滾動導(dǎo)引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動循環(huán)，使得負(fù)載平臺能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運動，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動導(dǎo)引的1/50，使之能輕易地達(dá)到μm級的定位精度。

滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點

1、靈敏度高，且其動摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運動平穩(wěn)，低速移動時不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復(fù)定位精度可達(dá)0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動導(dǎo)軌特別適用于機床的工作部件要求移動均勻、運動靈敏及定位精度高的場合。

氣浮導(dǎo)軌組成部分

(1)導(dǎo)軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細(xì)管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調(diào)節(jié)裝置。

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。