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光波超精密——石墨氣浮導軌生產廠家
導軌的導向精度和幾何精度是衡量直線導軌精度的重要指標。
在這些參數中,導軌間的豎直度平行度以及導軌在平面上的直線度,直接決定了導軌的幾何精度;而導軌的導軌精度又比較復雜,其物理特性、組成結構及工藝材料等都將影響其導軌精度。
直線導軌的直線度一般情況下,導軌直線度的標準用誤差數值表示,即測量單元與理想單元之間的偏差。對理想單位的選擇是非常嚴格的,需要根據規(guī)定的zui小條件進行選擇。
光波超精密氣浮導軌廠家——石墨氣浮導軌生產廠家
直線導軌的剛度在機床高速運轉的過程中,導軌因受力而產生變形,導軌會直接發(fā)生摩擦與碰撞。因此導軌的平面平整度,導軌的載重能力,導軌材料的選擇及結構布置等均嚴格按照設計規(guī)范進行。
直線導軌表面粗糙度導向器表面粗糙度一般是由導向器的硬度和材質所決定的,選擇導向器時應根據實際情況選擇合理的、適用性較強的制造材料,減少影響導向器精度的可能性。
直線導軌結構型式。導向架的安裝布局和導向架本身的結構外形直接影響到機床的各項精度指標。對機床定位和重復定位影響zui直接。
該微結構能有效地應用于超精密機床的動靜導軌表面,可有效地降低氣浮導軌間隙內高速氣體的流動阻力,提高機床定位精度和系統(tǒng)運動速度。以計算流體動力學方法(CFD)為基礎(Computational fluid dynamics, CFD),應用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-:湍流模型,建立了導軌微結構表面流體動力減阻分析模型,并結合流場分析和阻力分析,尋找符合氣浮導軌功能要求的微結構表面。本文研究了導軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數對減阻效果的影響規(guī)律,并通過識別各種因素對減阻效果的影響規(guī)律,分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結構表面形態(tài),確定了z適ui合超精密機床氣浮導軌減阻要求的微溝槽形狀。然后,通過研究導軌氣浮表面微結構減阻功能表面的幾何特性(構型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規(guī)律,對氣浮導軌微結構功能表面的參數進行了優(yōu)化設計。
光波超精密空氣導軌——石墨氣浮導軌生產廠家
氣浮式導軌利用空氣的粘性,把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導軌和滑塊之間的間隙,形成具有超高剛度的氣膜間隙,使負載得以平穩(wěn)運行i。
氣浮式導軌電子制造設備工業(yè)中超精密測量和實驗室測量,如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數接近零,永i不磨損。
持久的精i確度,出廠精i確度即永i久精i確度
導向器永i不磨損,因此不存在售后問題,無需返修,更不用全套更換。
精i確度永不丟失,導軌無需人工校正,補償。
計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩(wěn)、振幅小、振動頻率接近,所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響,摩擦力小,低速運動不會產生爬行抖動現象。隨動電機快速性好,適應頻繁啟停測試要求
滾動導軌阻尼小而容易引起超調或振蕩,剛度低,制造困難,對臟污和軌面誤差較敏感。滾動導軌多用于光學機械、精密儀器、數控機床、紡織機械等。液體靜壓導軌、氣浮導軌和磁浮導軌的動軌和定軌之間存在流體,摩擦更小,幾乎沒有磨損,無爬行現象,但是剛度低,阻尼小,設計、制造和運行控制較復雜。滾動導軌按結構可將導軌分為開式導軌和閉式導軌。開式導軌必須借助外力,例如自身重力,才能保證動軌與定軌的軌面正確接觸,這種導軌承受軌面正壓力的能力較大,承受偏載和傾覆力矩的能力較差。閉式導軌依靠本身的截面形狀保證軌面的正確接觸,承受偏載和傾覆力矩的能力較強,例如燕尾形導軌。影響導軌導向精度的主要因素有:直線度、兩個軌面的平行度、軌面粗糙度、耐磨性能、剛度、潤滑措施等。
現有的液體靜壓導軌一般由液壓供油裝置、動力驅動裝置、導軌、滑塊,靜壓油腔等組成。當導軌工作時,首先由液壓供油裝置將壓力油輸入至靜壓油腔中,在壓力油的作用下將滑塊從導軌上浮起,從而在滑塊與導軌之間充滿一層液體薄膜,使得導軌與滑塊間的接觸狀態(tài)由滑動摩擦變?yōu)榧円后w摩擦,極大的減小了滑塊運動時的摩擦阻力。