光波超精密——靜壓氣浮導(dǎo)軌

超精機(jī)靜壓氣浮導(dǎo)軌是由高精度的靜導(dǎo)軌、動(dòng)導(dǎo)軌和氣浮軸承等部件組成。高速高壓氣浮軸承在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)，在動(dòng)靜壓導(dǎo)軌之間排放有氣浮軸承，氣體流動(dòng)形成潤(rùn)滑膜，使動(dòng)靜壓導(dǎo)軌表面不直接接觸。氣浮導(dǎo)軌與液壓導(dǎo)軌相比，具有摩擦阻力小、不粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中有著廣泛的應(yīng)用。當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——靜壓氣浮導(dǎo)軌

由于氣浮軸承將氣體排入導(dǎo)軌間隙，使其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌明顯具有摩擦阻力小、無(wú)粘滯、運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)，而在超精密機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等高精密儀器設(shè)備中，已廣泛應(yīng)用。

當(dāng)氣浮軸承數(shù)確定，氣浮壓力、外荷載不變，動(dòng)導(dǎo)軌間隙氣膜厚度不變時(shí)，由于空氣移動(dòng)的粘度、動(dòng)導(dǎo)軌接觸面面積為定值，靜壓氣浮導(dǎo)軌所受的摩擦力與動(dòng)導(dǎo)軌的速度正相關(guān)。進(jìn)入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測(cè)量?jī)x測(cè)量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度和運(yùn)動(dòng)速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對(duì)超精密機(jī)床的定位精度、系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。對(duì)超精密機(jī)床的定位精度和運(yùn)動(dòng)速度進(jìn)行研究，已成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)[4-6]。

光波超精密技術(shù)研究院——靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣體靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和支撐部件通過(guò)氣膜彼此隔離，當(dāng)壓縮空氣靜壓導(dǎo)軌和支撐表面之間的空隙中排出時(shí)就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺(tái)浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產(chǎn)生氣體摩擦。負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度降低，而負(fù)荷增大時(shí)，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤(rùn)滑作用。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——靜壓氣浮導(dǎo)軌

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿(mǎn)足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。

空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理空氣靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件和承載部件通過(guò)氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導(dǎo)面之間的空隙排放出來(lái)的。這種氣浮墊通常在一組導(dǎo)軌中放置幾個(gè)。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過(guò)節(jié)流器進(jìn)入氣腔，沿封氣朝向外流動(dòng)，在封氣面和承導(dǎo)面之間形成有承載能力的氣膜。

大理石氣浮導(dǎo)軌的便用要水

當(dāng)運(yùn)動(dòng)件沿著承導(dǎo)件作直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)時(shí),承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支承和導(dǎo)向的作用.為了保證花崗石導(dǎo)軌作用的實(shí)現(xiàn).在設(shè)計(jì)的時(shí)候要完成這些相應(yīng)的要求:

1.①定的導(dǎo)向精度.導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)件沿花崗石氣浮導(dǎo)軌移動(dòng)的直線(xiàn)性,以及它與有關(guān)基面間的相互位置的準(zhǔn)確性.

2.運(yùn)動(dòng)輕便平穩(wěn).工作時(shí),應(yīng)輕便省力,速度均勻,低速時(shí)應(yīng)無(wú)爬行現(xiàn)象.

3.良好的耐研磨性.導(dǎo)軌的耐研磨性是指導(dǎo)軌長(zhǎng)期使用后.,能保持①定的使用精度.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過(guò)程中要磨損.但應(yīng)使磨損量小,且磨損后能自動(dòng)補(bǔ)償或便于調(diào)整.

4.足夠的剛度.運(yùn)動(dòng)件所受的外力,是由花崗石氣浮導(dǎo)軌面承受的,故導(dǎo)軌應(yīng)有足夠的接觸剛度.為此,常用加大導(dǎo)軌面寬度,以降低導(dǎo)軌面比壓;設(shè)置輔助導(dǎo)軌,以承受外載.

5.溫度變化影響小.應(yīng)保證花崗石氣浮導(dǎo)軌在工作溫度變化的條件下.仍能正常工作.

6.結(jié)構(gòu)工藝性好.在保證花崗石氣浮導(dǎo)軌其它要求的前提下,應(yīng)使花崗石氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單.便于加工、測(cè)量、裝配和調(diào)整,降低成本.

花崗石氣浮導(dǎo)軌是花崗石構(gòu)件中常見(jiàn)的一種,由于選用了花崗石原料.具有了花崗石本身的優(yōu)勢(shì),具有良好的穩(wěn)定性.能在重負(fù)荷下保持高精度.

氣浮導(dǎo)dao軌基于空氣軸承的基du本原理，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和zhi無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)dao。它具有運(yùn)動(dòng)精度回高、清潔無(wú)污染答等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。氣浮導(dǎo)軌在體潤(rùn)滑分析的表現(xiàn)上看，直線(xiàn)氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣體流量均有超常規(guī)表現(xiàn)，特別是關(guān)鍵的性能指標(biāo)——位移精度上，相對(duì)于傳統(tǒng)導(dǎo)軌有著成數(shù)量級(jí)的比較優(yōu)勢(shì)，精密機(jī)械、測(cè)量?jī)x器等領(lǐng)域普及使用氣浮導(dǎo)軌將是行業(yè)發(fā)展的必然趨勢(shì)。

氣浮軸承與花崗石氣浮導(dǎo)軌摩擦怎么辦

1、氣dao壓適當(dāng)?shù)恼{(diào)高一點(diǎn)(把握好du度，調(diào)的太zhi高影響精度)。

2、換完氣浮軸承dao檢查一下專(zhuān)該處的進(jìn)氣管道有沒(méi)屬有漏氣的，如果有漏氣了也會(huì)造成氣壓不夠。

3、建議氣浮軸承更換一個(gè)(氣浮軸承不貴，壞了可以換，很方便。但是如果一直使用壞了的氣浮軸承可能就會(huì)把導(dǎo)軌磨花了，導(dǎo)軌一壞你這機(jī)器就差不多該報(bào)廢了。導(dǎo)軌是三坐標(biāo)的基準(zhǔn))。

4、多用無(wú)水酒精清潔導(dǎo)軌。

5、換完氣浮軸承機(jī)器的垂直度會(huì)發(fā)生改變，需要找廠(chǎng)家進(jìn)行精度校驗(yàn)。