光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌報(bào)價(jià)

氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括：導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度，導(dǎo)軌面之間的平行度，導(dǎo)軌間的垂直度；導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。

影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下：

導(dǎo)軌直線度：它對(duì)導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌報(bào)價(jià)

導(dǎo)軌剛度：導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方；導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后，整體變形，與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。

導(dǎo)軌表面粗糙度：主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式：直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。

該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面，可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力，提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD)，應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型，并結(jié)合流場(chǎng)分析和阻力分析，尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，并通過識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律，對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌報(bào)價(jià)

氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。

氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導(dǎo)向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導(dǎo)軌無需人工校正，補(bǔ)償。

計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響，摩擦力小，低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好，適應(yīng)頻繁啟停測(cè)試要求

光波超精密技術(shù)研究院——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌報(bào)價(jià)

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對(duì)導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

同時(shí)氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌報(bào)價(jià)

實(shí)踐中，氣浮墊的性能比較復(fù)雜，受多種因素的影響。對(duì)于要求較高精度的氣浮導(dǎo)軌，應(yīng)考慮以下實(shí)際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節(jié)流孔數(shù)量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進(jìn)氣浮軸承的特性，可適當(dāng)調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。