1、高純氦氣氣瓶應(yīng)置于專用庫(kù)房貯存，庫(kù)房應(yīng)契合《建筑設(shè)計(jì)防火標(biāo)準(zhǔn)》的有關(guān)規(guī)定。

2、高純氦氣的空瓶與重瓶應(yīng)分開放置，并有明顯的標(biāo)志，在附近設(shè)置滅火器材。

3、瓶?jī)?nèi)的高純氦氣彼此觸摸能引起燃燒、、產(chǎn)生毒物的氣瓶，禁止放在同一庫(kù)房?jī)?nèi)。

4、氣瓶放置應(yīng)整齊、戴好瓶帽，立放時(shí)應(yīng)妥善固定，橫放時(shí)頂部朝同一方向。

另外，存放高純氦氣的庫(kù)房?jī)?nèi)不得有地溝、暗道，禁止明火和其他熱源。庫(kù)房?jī)?nèi)應(yīng)通風(fēng)、枯燥，防止陽(yáng)光直射、雨水淋濕，謹(jǐn)防庫(kù)房?jī)?nèi)積水，腐蝕鋼瓶。

電光源工業(yè)、玻璃制造、機(jī)械加工、航空航天、的基礎(chǔ)建設(shè)

4、切割、焊接的介質(zhì)，應(yīng)用于電光源工業(yè)、玻璃制造、機(jī)械加工、航空航天、等基礎(chǔ)建設(shè)等。5、反應(yīng)及中和介質(zhì)，在精細(xì)化工、生物中用于反應(yīng)、保護(hù)等。6、冷凍和保鮮介質(zhì)，常用液氮、二氧化碳等用于食品加工。7、殺菌介質(zhì)，氦氣、氧氣、氮?dú)?、激光混合氣等用于設(shè)備。8、綜合手段與介質(zhì)，應(yīng)用于制造業(yè)的成型保護(hù)、核反應(yīng)堆的保護(hù)、電光源照明行業(yè)和吹掃等。

氣相沉積氣體:含鹵化物及鹵碳化合物為主,如、三氟化氮(NF3

（3）蝕刻清洗氣體：以含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。（4）反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亞氮（N2O）等。（5）金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢（WF6）、（Ga（CH3）3）等。