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但在一個操作間,機(jī)器以及機(jī)器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團(tuán)。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因為風(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩停虼瞬贿m合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。4分類編輯亂流式 (Turbulent Flow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。福州同盛凈化彩鋼板有限公司。3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口這是最簡易的一個空調(diào)方案。
并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.造價低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;D.送風(fēng)均勻度好。缺點:A.溫濕度控制較差;B.可以滿足空氣的潔凈度;C.FFU的維修頻率高。4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點A、無塵車間潔凈度:LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。潔凈室凈化工程凈化工程的施工特點:潔凈室凈化工程設(shè)計首先要了解所設(shè)計的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產(chǎn)工藝特點等、比如設(shè)計的是集成電路生產(chǎn)用潔凈室凈化工程.首先要弄清楚產(chǎn)品的特性——集成度、持形尺寸和生產(chǎn)工藝特點。