湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

操作比氣體滲氮復(fù)雜，需要控制的廠藝參數(shù)多，測量溫度和控制溫度均勻比較難；裝爐有嚴格要求，裝爐不妥或形狀不同、大小不同的零件混裝爐容易出現(xiàn)滲層不均勻等疵病，造成廢品或返修；設(shè)備費剛貴，有時需要配置輔助陽極等。

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。其特點是，隨著調(diào)節(jié)電源輸出的磁控靶工作電壓的增加，濺射電流也應(yīng)同步緩慢上升。更適合于對薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個數(shù)量級的氣體壓強狀態(tài)下進行(例如，1.0×1-2Pa)。??

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在陰極附近，二次電子發(fā)射產(chǎn)生的電子在較短距離內(nèi)尚未得到足夠的能使氣體分子電離或激發(fā)的動能，所以緊接陰極的區(qū)域不發(fā)光。公司是經(jīng)國家科學(xué)技術(shù)1部認定的“國家火炬計劃重點高新技術(shù)企業(yè)”、是按高企認定新標準經(jīng)湖北省高新技術(shù)企業(yè)認定管理工作協(xié)調(diào)小組認定的“高新技術(shù)企業(yè)”。而在陰極輝區(qū)，電子已獲得足夠的能量碰撞氣體分子，使之電離或激發(fā)發(fā)光。1831~1835年,M.法拉第在研究低氣壓放電時發(fā)現(xiàn)輝光放電現(xiàn)象和法拉第暗區(qū)。1858年,J.普呂克爾在1/100托下研究輝光放電時發(fā)現(xiàn)了陰極射線，成為19世紀末粒子輻射和原子物理研究的先驅(qū)。

根據(jù)電流脈沖個數(shù)及Lisajous圖形（X軸為外加電壓，Y軸為放電電荷量）的不同，他們提出了區(qū)分輝光放電和絲狀放電的方法，即若每個外加電壓半周期內(nèi)僅1個電流脈沖，并且Lisajous圖形為兩條平行斜線，則為輝光放電。處理溫度范圍較寬，即使在350℃以下也能獲得一定厚度的滲氮層。若半周期內(nèi)多個電流脈沖，并且Lisajous圖形為斜平行四邊形，則為絲狀放電。