真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機(jī)尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

       一些真空泵維修人員由于對真空設(shè)備結(jié)構(gòu)、原理不清楚，不認(rèn)真分析故障原因，不能準(zhǔn)確判斷故障部位，憑著“大概、差不多”的思想盲目對機(jī)械大拆大卸，結(jié)果不但原故障未排除，而且由于維修技能和工藝較差，又出現(xiàn)新的問題。因此，當(dāng)機(jī)械出現(xiàn)故障后，要通過檢測設(shè)備進(jìn)行檢測，如無檢測設(shè)備，可通過“問、看、查、試”等傳統(tǒng)的故障判斷方法和手段，結(jié)合真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)和工作原理，確定可能發(fā)生故障的部位。

       在判定真空設(shè)備故障時，一般常用“排除法”和“比較法”，按照從簡單到復(fù)雜、先外表后內(nèi)部、先總成再部件的順序進(jìn)行，切忌“不問青紅皂白，盲目大拆大卸”。

       真空泵維修表示真空泵因鑄造、加工缺陷，內(nèi)應(yīng)力及超負(fù)荷運(yùn)行等原因經(jīng)常導(dǎo)致部件出現(xiàn)裂紋或斷裂現(xiàn)象。常規(guī)的修復(fù)方法是采用焊接，但有的零件材質(zhì)是鑄鐵、鋁合金、鈦合金，難以做焊接處理。還有一些易于發(fā)生的危險(xiǎn)場合，更不易采用焊接修復(fù)方法。美嘉華技術(shù)是一種“冷焊”技術(shù)，可以避免熱應(yīng)力變形，同時材料良好的附著力和抗壓、抗腐蝕等綜合性能，真空泵維修可以大限度地滿足各種設(shè)備部件的使用要求，從而在低成本的投入下有效保證生產(chǎn)。安全、方便、可靠。

       根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。

　　 如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。