氦質(zhì)譜檢測儀——示漏氣體的選擇

選擇示漏氣體的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)它的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

（1）氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量少（在空氣中約含5×10-6），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來，靈敏度高。

（2）氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

（3）氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

（4）在氦兩側(cè)的離子是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。（3）航天工業(yè)中，各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀及其檢漏技術(shù)。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，調(diào)氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

（5）氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附，容易被抽走。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)

操作方便：體積小，重量輕，結(jié)構(gòu)緊湊，操作面板簡單；

性能高：采用了進(jìn)口檢漏儀儀分了泵與性能較高的質(zhì)譜系統(tǒng)，靈敏度度高，檢測壓強(qiáng)高，響應(yīng)時(shí)間快；

功能強(qiáng)大：多種模自動(dòng)切換，豐富的選項(xiàng)，具有權(quán)限管理功能；

可靠性高：采用氧化釔銥燈絲提高燈絲壽命，系統(tǒng)具有強(qiáng)大的保護(hù)功能；

多種接口：具有RS232/485，外控IO，遙控器接囗以及外部規(guī)管接口等用戶接口。

氦質(zhì)譜檢漏儀——檢漏方法介紹

氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會(huì)使泄漏孔暫時(shí)阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。

吸槍與質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時(shí)校驗(yàn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置?？上扔玫?dú)饣蚱渌栊詺怏w將設(shè)備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設(shè)備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。測漏壓力應(yīng)不高于設(shè)備設(shè)計(jì)壓力的2 5 %，但不低于0. 1 03MP。設(shè)備備保壓3 0分鐘后， 用掃描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距離焊縫表面不大于3 mm的范圍內(nèi)用吸槍吮吸， 并應(yīng)從焊縫底部至上而行。當(dāng)一個(gè)帶電質(zhì)點(diǎn)（正離子）以速度v進(jìn)入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運(yùn)動(dòng)軌跡為圓。

管板等焊縫較多或檢測面積較大時(shí)，可將該部分用塑料薄膜完全罩住并用膠帶封住，以使 泄漏的氦氣進(jìn)入罩中如圖2所示。在塑料罩的不同處做出小孔，在充入一定的氦氣前、后各記錄起初的讀數(shù)，然后封住小孔，1- 2小時(shí)后在相同的位置上記錄新的讀數(shù)。如發(fā)現(xiàn)泄漏，則應(yīng)按前述的方法逐條焊縫進(jìn)行排查直至找到泄漏點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的組成——真空系統(tǒng)儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號(hào)的檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。