氦質(zhì)譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時(shí)都要測(cè)試泄漏率指標(biāo)。通常情況下，真空部件的泄漏檢測(cè)都是應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏，檢漏時(shí)構(gòu)造一個(gè)臨時(shí)的密閉空間，利用氦質(zhì)譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點(diǎn)（泄漏指標(biāo)異常處）。氦質(zhì)譜檢漏儀操作簡單，響應(yīng)快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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按檢漏儀上的“開始”按鍵，檢漏儀開始對(duì)氣瓶夾層進(jìn)行抽空。達(dá)到檢測(cè)條件后，用噴槍將分別在氣瓶內(nèi)膽和外膽噴吹氦氣，如產(chǎn)品存在泄漏，氦氣會(huì)進(jìn)入到夾層內(nèi)部，進(jìn)而被抽入檢漏儀內(nèi)，而被檢測(cè)到，超過設(shè)定報(bào)警值，檢漏儀會(huì)顯示漏率并發(fā)出聲光報(bào)警，提示不合格。

氦質(zhì)譜測(cè)漏儀的準(zhǔn)確性

氦質(zhì)譜測(cè)漏儀應(yīng)用廣泛，隨著科技的進(jìn)步，對(duì)科研器材要求更加嚴(yán)格；生產(chǎn)工藝的改進(jìn)，對(duì)產(chǎn)線的性能要求更高；以及化工企業(yè)，管路的嚴(yán)密性好壞直接關(guān)系安全；電廠的管路嚴(yán)密，直接關(guān)系到節(jié)約多少能源等等。所有這些，都需要使用氦質(zhì)譜檢漏儀來完成檢測(cè)任務(wù)。保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔的準(zhǔn)確，就是保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

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