真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同許多密封件有一個(gè)的安裝方向，且僅在這個(gè)方向才能起到密封作用。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

充注檢漏氣體前，試件必須抽空

為正確試漏，在充注檢漏氣體前將試件預(yù)抽空是完全必要的，特別是對(duì)幾何形狀長和窄的試件尤為重要。如果充注前未抽空，試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端，而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個(gè)部位，從而潛在的漏孔將僅釋放空氣，檢漏儀則不能檢測(cè)到這些漏孔。

如果采用低壓力的檢漏氣體充注試件，抽空也是特別重要的，因?yàn)樵嚰袣埩舻目諝鈱⑾♂尦渥⒌臋z漏氣體。例如：如果試件中殘留大氣壓空氣，充注添加一個(gè)大氣壓的檢漏氣體后，試件中的檢漏氣體濃度便降為50%，而如果充注添加兩個(gè)大氣壓的檢漏氣體，檢漏氣體濃度則為66%。79J/(m·h·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K)，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動(dòng)力粘度系數(shù)為1。

檢漏氣體測(cè)試前切勿使用水槽試漏

檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或者是狹長的毛細(xì)管，如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中，這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿，而堵在漏孔中的水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑?，?huì)非常不易從小孔中驅(qū)逐，從而大大影響檢漏結(jié)果。解決這一問題的辦法，只能通過漫長的干燥過程來排除這些水分。正壓法的缺點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度較低，檢測(cè)結(jié)果不確定度大，受測(cè)量環(huán)境條件影響大。

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氦氣檢漏是怎樣操作呢？

任何儀器在制作過程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！看到這里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。市面上有各種檢漏儀器，常見的載氣有氮?dú)?、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽說過，那么氦氣檢漏是怎樣的呢？氦氣檢漏是如何操作的呢？

在設(shè)備和廠房當(dāng)中，常常有一些管道等連接的部位，這些地方的封接處可能存在肉眼難以察覺的細(xì)小孔洞，在使用時(shí)如果不注意就會(huì)導(dǎo)致泄露，從而造成事故。在這 些地方氦氣怎么檢漏？真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè)，反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散，在被檢測(cè)的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn)，那么我們就能通過監(jiān)測(cè)儀器探測(cè)到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。

對(duì)于一些的細(xì)小電子元件，氦氣怎么檢漏呢？正壓法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗(yàn)方法》，主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。將要檢測(cè)的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下，如果這些元件存在漏點(diǎn)，必然會(huì)有氦氣通過 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后，再利用質(zhì)譜儀檢測(cè)元件表面泄露的氦氣?？吹竭@里大家得注意，氦氣的價(jià)格不菲，進(jìn)行一次氦氣檢漏的費(fèi)用自然不低。

氦氣怎么檢漏，氦氣檢漏就是利用了氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺的孔縫中，利用監(jiān)測(cè)儀器就能探測(cè)到孔縫中泄露出的氦氣。檢測(cè)時(shí)首先探測(cè)到氦氣的 ，得到氦氣的水含量，再利用色譜儀計(jì)算出氫氣、氧氣、C02氣體等雜質(zhì)。氦檢漏有兩種工藝，一種是背壓法，另一種則是真空箱法。氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。