真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏的應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏常用的操作方法板式換熱器的體積及換熱面積較大，如果單依靠氦質(zhì)譜檢漏儀抽取真空，其不能滿足檢漏口真空度的要求，這樣需要另接抽真空機(jī)組。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

鎢錸絲具有高熔點(diǎn)，高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。噴氦法檢漏中應(yīng)該注意以下幾個(gè)問題：1、實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發(fā)脆斷，在有氫氣存在的情況下，會(huì)加速碳化。

氦質(zhì)譜檢漏儀待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。在檢漏過程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進(jìn)入電離室，真空度≥1x10-1Pa時(shí)，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時(shí)間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。在進(jìn)行吸入法和鐘罩法時(shí)，采用氦氣與氮?dú)獾幕旌蠚膺M(jìn)行檢測，能使氦氣的使用成本下降70%-80%。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類

真空泵(vacuum pump)

利用機(jī)械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對(duì)容器進(jìn)行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機(jī)械、、航天等部門。

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。

氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。

目前工業(yè)中應(yīng)用較多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。

W型往復(fù)式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結(jié)晶，干燥，過濾，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。

2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。

2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )

具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。

XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )