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氣浮軸承的應(yīng)用
氣體靜壓的軸承在精密和超精密裝備中應(yīng)用廣泛,比如集成電路生產(chǎn)設(shè)備、平面顯示器生產(chǎn)設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、檢驗和測量設(shè)備以及高精度機(jī)床等。
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氣體軸承主要優(yōu)點
1)摩擦很小,運(yùn)動非常平穩(wěn)且無爬行現(xiàn)象;2)運(yùn)動精度高;3)運(yùn)動速度高;4)氣體運(yùn)動粘度極低,系統(tǒng)基本沒有發(fā)熱現(xiàn)象;5)可用于較廣的溫度范圍(多孔質(zhì)除外);6)對環(huán)境無污染。
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空氣軸承
空氣軸承的結(jié)構(gòu)組成是什么?
空氣軸承的結(jié)構(gòu):由軸承內(nèi)圈和外圈,外圈上有空氣的進(jìn)出口孔,內(nèi)圈上有噴嘴。
空氣軸承的工作原理
空氣軸承是指借助于軸承滑動副表面之間形成的壓力空氣膜將負(fù)荷支承起來的軸承,工作時滑動副表面之間完全由氣膜分開??諝廨S承屬于滑動軸承中之流體滑動軸承,工作時為流體潤滑,其潤滑介質(zhì)為空氣。
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空氣軸承的主要類型
空氣軸承(氣浮軸承)主要類型有:動壓氣浮軸承、靜壓氣浮軸承、壓膜軸承和其它類型氣浮軸承。
動壓氣浮軸承與液體動壓的軸承的支承原理相同,只是氣體可以壓縮,為可壓縮流體潤滑軸承。
靜壓氣浮軸承的作用原理同樣與液體靜壓的軸承相同。常用的節(jié)流器有小孔、狹縫和多孔質(zhì)軸襯。高承載時也使用可變節(jié)流器。供氣壓力、節(jié)流器參數(shù)和軸承間隙三者,若匹配得當(dāng),可得到承載高、剮度大、流量小和工作穩(wěn)定的軸承。