現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚測量及監(jiān)控方法

涂層的鍍膜機控制方法是直接的石英晶體微天平(QCM)的方法，該儀器可以直接驅動的蒸發(fā)源，通過PID控制回路傳動擋板，使蒸發(fā)率。只要儀器和系統(tǒng)控制軟件的連接，它可以控制涂層的全過程。但(QCM)的準確性是有限的，鍍膜機部分原因是其監(jiān)測代替光學厚度的涂層質(zhì)量。

此外，雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定，但溫度高，它將成為對溫度很敏感。在長時間的加熱過程中，鍍膜機很難避免傳感器為敏感的區(qū)域，導致薄膜的重大錯誤。光學監(jiān)測是一種涂層優(yōu)選的監(jiān)控模式，鍍膜機這是因為它能準確控制膜的厚度(如果使用得當)。

精度的提高，由于許多因素，但根本的原因是光學厚度的監(jiān)測。optimalswa-i-05單一波長的光學監(jiān)測系統(tǒng)，是間接控制，鍍膜機先進的光學監(jiān)測軟件結合王博士的發(fā)展，有效地改善和靈敏度變化的光反應的膜厚度的減少終的誤差的理論方法，提供監(jiān)測波長的反饋或傳輸模式的選擇和廣泛的。特別適用于涂布各種薄膜厚度監(jiān)控包括不規(guī)則的膜。

真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設備正常工作時,主開關電路中的開關管處于飽和導通狀態(tài),管壓降保持在100V左右,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測電路R21上得到的電壓控制信號不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于截止狀態(tài),而BG11、BG12、BG13處于導通狀態(tài),由BG11輸出一個2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10得到2.5V的電壓控制信號而處于導通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開關管通過D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時BG7、BG8也處于導通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導通,提供主開關管柵極恒定的電流。由于BG10處于導通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號UR2的控制。當UR2<UD2時,輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。

在真空鍍膜設備不正常情況下,增加束流時,由于束斑的位置不在中心,電子束可能會打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預定值,主開關管處于截止狀態(tài),承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測電路R21取得的過流信號,使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導通,BG14、BG15、BG16處于導通狀態(tài),C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號而截止,BG9立刻導通,550V正端通過BG9接到主開關管的陰極,負端通過D5管接到主開關管的柵極,主開關管得到-550V偏壓而進入深度截止,此時高壓就沒有指示了。

磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線系統(tǒng)設計系統(tǒng)設計的特點

1、生產(chǎn)線采用PLC全過程控制，并配有彩色顯示屏，顯示鍍膜工藝過程參數(shù)等；

2、實時動畫形式顯示監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程。磁控鍍膜生產(chǎn)線的設備是密封的，生產(chǎn)時看不見玻璃在真空室里面的運行情況，通過通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)形象的動畫功能來實時反應玻璃在密封真空室里的運行情況，讓現(xiàn)場操作工對整個生產(chǎn)流程了若指掌。

3、系統(tǒng)功能豐富：包括手/自動模式選擇、工藝方案選擇、數(shù)據(jù)檢測記錄、故障報警記錄、自動診斷保護、操作權限限定等等。系統(tǒng)組成結構圖上位監(jiān)控系統(tǒng)采用的是通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)，其與下位控制系統(tǒng)的三菱FX2NPLC通信方式采用RS-232串行通訊方式。LG變頻器及真空泵、抽氣閥等都是由三菱FX2N-PLC來控制，而PLC通過一個擴展的232BD模塊與計算機相連。軟件系統(tǒng)完成的主要功能

1、以實時動畫形式監(jiān)控磁控鍍膜生產(chǎn)線的工藝流程，監(jiān)控電機、真空泵、抽氣閥等部件的運行狀態(tài)；

2、記錄設備運行過程中產(chǎn)生的實時報警信息；

3、PLC輸入、輸出點實時監(jiān)控?？偨Y該系統(tǒng)現(xiàn)場運行情況良好，數(shù)據(jù)讀寫速率快，報警功能、設備動作控制等各項功能均達到設計要求，且快速、準確無誤，主畫面上的動畫過程與現(xiàn)場的生產(chǎn)流程配合較好，使用該系統(tǒng)可以非常方便的監(jiān)控整條生產(chǎn)線的運行?！安僮骱唵?，畫面精美，軟件與設備的通訊性能優(yōu)越，大大提升系統(tǒng)形象”通用組態(tài)式監(jiān)控系統(tǒng)軟件突出性能給予的評價。