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為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)力的要求,新一代線鋸必須提升切割速度,使用更長的硅塊從而提高切割荷載。更細的切割線和更薄的硅片都提升了生產(chǎn)力,
同時,先進的工藝控制可以管理切割線拉力以此保持切割線的牢固性。使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產(chǎn)量的一個創(chuàng)新方法。應(yīng)用材料公司
新的MaxEdge 系統(tǒng)采用了獨特的兩組獨立控制的切割組件。
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硅片化學清洗是為了除去原子、離子不可見的污染,方法較多,有溶劑萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各種混合酸等)和等離子體法等。其中雙氧水體系清
洗方法效果好,環(huán)境污染小。一般方法是將硅片先用成分比為H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的強氧化性,將有機物分解而除去;,
由于H2O2的氧化作用和鹽酸的溶解,以及氯離子的絡(luò)合性,許多金屬生成溶于水的絡(luò)離子,從而達到清洗的目的。
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硅片示蹤原子分析和質(zhì)譜分析表明,采用雙氧水體系清洗硅片,同時所用的全部化學試劑
H2O2、NH4OH、HCl能夠完全揮發(fā)掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片時,在硅片表面會留下約2×1010原子每平方厘米的硫原子,用后一種酸性
清洗液時可以完全被清除。用H2O2體系清洗硅片無殘留物,有害性小,也有利于工人健康和環(huán)境保護。硅片清洗中用各步清洗液處理后,都要用超純水徹底沖洗
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當前來說,世界上只有中國、美國、德國等少數(shù)國家具備硅微粉生產(chǎn)能力,中國硅微粉的市場主要還是在國內(nèi),集中在安徽鳳陽,浙江湖州,江蘇連云港等地,出口
量相對來說比較小,多出口韓國和日本,國內(nèi)生產(chǎn)硅微粉的較大企業(yè)有安徽伊納高新技術(shù)有限公司和東海硅微粉廠,每月產(chǎn)量都在1000噸以上。太陽能產(chǎn)業(yè)的加
速又促使硅微粉的市場需求迅猛增長,硅微粉呈現(xiàn)出供不應(yīng)求的局面。
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