相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

在凈化車間中空氣凈化系統(tǒng)中，潔凈空氣都需要靠風管輸送，風管的性能會影響到空氣潔凈度，風管首先要注意密閉性，使用中不積累灰塵、不產(chǎn)生灰塵、耐潮濕、耐腐蝕、不會污染等性能，在風管的設計中也需要考慮阻力的問題，避免阻力過大，需要增加送風的壓力，增加能源的消耗。工作人員的走動影響室內(nèi)的空氣潔凈度，避免工作人員減少不必要的走動，需要在車間內(nèi)的電話，電話可以減少工作人員來回走動，影響室內(nèi)的環(huán)境，凈化車間的安全性非常重要，尤其是需要注意防火問題，在車間內(nèi)設置火災報警系統(tǒng)和自動水淋系統(tǒng)，還需要配備消防設備，這樣才能保證車間的安全性。


溫度測試是確認空氣處理設施的溫度控制能力，溫度測試應在凈化車間進行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24H以上后進行。凈化車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴格控制溫度精度時或建設方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進行測試時應用；一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時溫度測試。


實驗室里面的儀器設備該如何去除灰塵？清洗儀器上的塵垢，清洗儀器在使用中會沾上油膩、膠液、汗?jié)n等塵垢，在儲藏保管不小心時會發(fā)生銹蝕、霉斑，這些塵垢對儀器的壽數(shù)、性能會發(fā)生極其不良的影響。清洗的意圖就在于除掉儀器上的塵垢。一般儀器的清洗有兩類辦法，一是機械清洗辦法，即用鏟、刮、刷等辦法清洗；二是化學清洗辦法，即用各種化學去污溶劑清洗。詳細的清洗辦法要依塵垢附著外表的情況以及塵垢的性質(zhì)決議。