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發(fā)布時(shí)間:2021-08-25 06:59  






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在拉制單晶的過程中,石墨坩堝作為關(guān)鍵核心部件的主要作用有如下幾點(diǎn):安全作用:在緊急情況停爐時(shí),由于多晶硅冷卻時(shí)體積膨脹(大約為10%),坩堝短時(shí)間內(nèi)會(huì)承受很大的應(yīng)力,因石墨材料自身的強(qiáng)度較低,石墨坩堝在這種情況下一般都會(huì)炸裂而報(bào)廢,甚至損壞相鄰部件乃至整個(gè)熱場,因此石墨坩堝強(qiáng)度較低是單晶生產(chǎn)穩(wěn)定的隱患,急需更新?lián)Q代,使用符合拉晶需求的抗折強(qiáng)度大的產(chǎn)品。

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石墨粉的特性即高強(qiáng)耐酸性、抗腐蝕和耐高溫3000℃以及耐低溫-204℃,同時(shí)它的抗壓強(qiáng)度大于800kg/Cm2,并且,在450℃空氣中失重1%,回彈率為15-50%(密度1.1-1.5)。因此石墨制品現(xiàn)已被廣泛的應(yīng)用在冶金、化工、石油化工、高能物理、航天、電子等方面。石墨制品(包含石墨棒,石墨制品,石墨塊,石墨板,石墨碳管、石墨環(huán))是重要的戰(zhàn)略資源用途十分廣泛。

清爐是個(gè)技術(shù)活,清爐不到位,將影響到單晶的正常生長,輕者,無法正常生長單晶,重者,將會(huì)導(dǎo)致停爐,大家在清理單晶爐中應(yīng)該注意到幾點(diǎn):1、盡量將噴濺到石墨部件上的硅滴去除,劣化嚴(yán)重的石墨件要向主任報(bào)告及時(shí)更換。


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