凈化工程系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU）和循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1 CP室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU-3） 過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-過濾器送風(fēng)-潔凈區(qū)。

2 ML室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU） 循環(huán)機(jī)組（AHU） 過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3 CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級(jí)別為6 級(jí)，換氣次數(shù)取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU） 循環(huán)機(jī)組（AHU） 過濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

在一般建筑設(shè)計(jì)中，空調(diào)機(jī)是建筑物的附屬設(shè)備．它僅僅是補(bǔ)充完善建筑物的功能設(shè)備，但在潔凈廠房中凈化空調(diào)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)空氣潔凈度的主要功能設(shè)備。當(dāng)然對(duì)工業(yè)潔凈室來說，生產(chǎn)工藝設(shè)備、工具和產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水、純氣、高純化學(xué)品 以及穩(wěn)定的電力供應(yīng)等也都是潔凈廠房產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的重要條件。

一、保濕性能好，強(qiáng)度高，隔熱保溫。

二、強(qiáng)度高：可作天花圍護(hù)布局板材承重，抗彎抗壓。

三、送風(fēng)過濾設(shè)備：高、效送風(fēng)口選用不銹鋼結(jié)構(gòu)，漂亮清洗，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，易清洗；送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫棉；

四、地上處置：地上通常選用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，如有防靜電需求的，可選用防靜電地板；

五、潔凈性能好，不會(huì)吸附塵埃，十分適用于凈化車間墻體，而且十分節(jié)能環(huán)保，表面漂亮，價(jià)錢實(shí)惠，用來建設(shè)車間或改造車間能大大的下降運(yùn)用成本。

六、施工便利，重量輕，凈化廠房隔墻、頂板通常多選用50mm厚的夾板；而且彩鋼板設(shè)備靈敏便利：施工周期短，潔凈車間能夠依據(jù)出產(chǎn)需求進(jìn)行調(diào)整，運(yùn)用彩鋼板墻體，車間改造施工愈加便利。

   降低造價(jià)及運(yùn)行費(fèi)用是凈化車間設(shè)計(jì)所追求的目標(biāo)，當(dāng)加強(qiáng)污染控制會(huì)帶來產(chǎn)量、質(zhì)量的提高時(shí)尤其如此。因此，各種稱為“隔離裝置” “屏障技術(shù)” “微環(huán)境”的設(shè)施如雨后春筍般涌現(xiàn)出來。

   各種凈化級(jí)別的凈化車間實(shí)際上就是一種隔離裝置，使加工工藝及其加工的產(chǎn)品遠(yuǎn)離污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)良率?？梢哉f，凈化技術(shù)就是隔離技術(shù)。在凈化技術(shù)的發(fā)展中曾依次使用過四種潔凈室模式，它們是：全室型、混合型、潔凈隧道型和潔凈管道型。凈化技術(shù)的發(fā)展方向就是在努力提高潔凈度等級(jí)的同時(shí)，盡可能減少超潔凈區(qū)域的容積，降低凈化車間的造價(jià)和運(yùn)行費(fèi)用，達(dá)到較小化生產(chǎn)成本的目的?！拔h(huán)境”就是在這種理念下發(fā)展起來的。