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無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵室。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。在單流向型無(wú)塵室,風(fēng)速測(cè)量的位置可由業(yè)主預(yù)定,一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。無(wú)塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則:排除/除去在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中,為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
無(wú)塵室的優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本,無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高無(wú)塵室等級(jí)。
無(wú)塵室的缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無(wú)塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再重啟,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
氣流是控制潔凈度與溫濕度的主要因素,它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測(cè)量,都是放在無(wú)塵室測(cè)試的步。風(fēng)速測(cè)量的目的,是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范,其次是確認(rèn)氣流的均勻度。層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用,一般其無(wú)塵室等級(jí)為Class1~100。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。
潔凈室用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑膠底,布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Vinyl),在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用,原則上以使用無(wú)粉之Vinyl手套為佳。(清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無(wú)塵車間實(shí)地演示)無(wú)塵衣、鞋、帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行,并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm過(guò)濾器為之,一般洗滌周期視清潔度等級(jí)而定,在高潔凈區(qū)為2~3天,其他區(qū)域則為5天~1星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。蘇州卓宇泰公司是一家主營(yíng)設(shè)備搬遷、精準(zhǔn)定位、無(wú)塵車間、設(shè)備安裝,設(shè)備包裝,大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。洗滌衣置放場(chǎng)所須為潔凈室,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以為方便取用。