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一六儀器 專業(yè)測厚儀 多道脈沖分析采集,先進EFP算法 X射線熒光鍍層測厚儀
應(yīng)用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.EFP算法結(jié)合精準定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆積的1~104的原子層或分子層。在此方向上,薄膜具有微觀結(jié)構(gòu)。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之間的距離。由于薄膜僅在厚度方向是微觀的,其他的兩維方向具有宏觀大小。所以,表示薄膜的形狀,一定要用宏觀方法,即采用長、寬、厚的方法。因此,膜厚既是一個宏觀概念,又是微觀上的實體線度。
由于實際上存在的表面是不平整和連續(xù)的,而且薄膜內(nèi)部還可能存在著、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要嚴格地定義和測量薄膜的厚度實際上是比較困難的。膜厚的定義應(yīng)根據(jù)測量的方法和目的來決定。
經(jīng)典模型認為物質(zhì)的表面并不是一個抽象的幾何概念,而是由剛性球的原子(分子)緊密排列而成,是實際存在的一個物理概念。
形狀膜厚:dT是接近于直觀形式的膜厚,通常以um為單位。dT只與表面原子(分子)有關(guān),并且包含著薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響;
質(zhì)量膜厚:dM反映了薄膜中包含物質(zhì)的多少,通常以μg/cm2為單位,它消除了薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響(如缺陷、、變形等);
物性膜厚:dP在實際使用上較有用,而且比較容易測量,它與薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)和外部結(jié)構(gòu)無直接關(guān)系,主要取決于薄膜的性質(zhì)(如電阻率、透射率等)。
江蘇一六儀器 X熒光光譜測厚儀
下照式設(shè)計:可以快速方便地定位對焦樣品。
無損變焦檢測:可對各種異形凹槽進行無損檢測,凹槽深度范圍0-90mm。
微聚焦射線裝置:可檢測面積小于0.002mm2的樣品,可測試各微小的部件。
接收:即使測試0.01mm2以下的樣品,幾秒鐘也能達到穩(wěn)定性。
精密微型滑軌:快速精準定位樣品。
EFP先進算法軟件:多層多元素,甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。
江蘇一六儀器有限公司是一家專注于光譜分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的高新技術(shù)企業(yè)。公司位于上海和蘇州中間的昆山市城北高新區(qū)。我們專業(yè)的研發(fā)團隊具備十年以上的從業(yè)經(jīng)驗,經(jīng)與海內(nèi)外多名專家通力合作,研究開發(fā)出一系列能量色散X熒光光譜儀
X射線熒光測厚儀操作注意事項:
測厚儀操作時候需要注意的:
技術(shù)指標:
1 分析元素范圍:Cl(17)-U(92)
2 同時可分析多達5層鍍層以上
3 分析厚度檢出限高達0.01μm
4 多次測量重復(fù)性高可達0.01μm
5測量時間:5s-300s
6 計數(shù)率:0-8000cps
測厚儀操作流程
打開儀器開關(guān)----在電腦上開啟軟件-------開高壓鑰匙-------聯(lián)機------預(yù)熱-----峰位校正------新建程式------選擇相應(yīng)的程式-----測試樣品----出報告