技術(shù)特征：

1.單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，包括主體、主體中間的固定機(jī)構(gòu)和主體底端的拆卸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定機(jī)構(gòu)包括固定柱(13)，所述主體的頂端設(shè)置有頂殼(1)，所述頂殼(1)的中間設(shè)置有操作門(7)，所述固定柱(13)位于操作門(7)的內(nèi)側(cè)兩端，所述操作門(7)的一側(cè)對應(yīng)于固定柱(13)的位置處設(shè)置有連接螺栓(14)，所述連接螺栓(14)的一側(cè)中間對應(yīng)于固定柱(13)的內(nèi)部設(shè)置有齒輪(15)，所述頂殼(1)的內(nèi)部兩側(cè)對應(yīng)于固定柱(13)的位置處設(shè)置有固定桿(3)，所述固定柱(13)的內(nèi)部兩側(cè)對應(yīng)于齒輪(15)的位置處設(shè)置有齒槽(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，其特征在于：所述拆卸機(jī)構(gòu)包括限位板(21)，所述主體的底端中間設(shè)置有底座(6)，所述限位板(21)位于底座(6)的中間表面，所述底座(6)的一側(cè)中間設(shè)置有連接座(20)，所述限位板(21)的一側(cè)中間設(shè)置有限位螺栓(22)，所述底座(6)的內(nèi)部一側(cè)對應(yīng)于限位螺栓(22)的位置處開設(shè)有螺紋孔(17)，所述底座(6)的兩側(cè)對應(yīng)于限位板(21)的位置處設(shè)置有限位滑槽(18)，所述限位滑槽(18)的一側(cè)對應(yīng)于底座(6)的位置處設(shè)置有帽檐(19)。

單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，其特征在于：所述限位滑槽(18)的橫截面為矩形，且限位滑槽(18)的寬度與限位板(21)的寬度一致。

單工位噴淋清洗機(jī)

提供一種單工位噴淋清洗機(jī)，包括機(jī)架、氣控門、旋轉(zhuǎn)底盤、限位銷、鉤料銷、旋轉(zhuǎn)夾料氣缸、電機(jī)、軸承座、軸承、電控柜、儲液槽、進(jìn)水泵、噴淋泵和噴嘴，所述氣控門設(shè)置在所述機(jī)架上，所述旋轉(zhuǎn)底盤的表面上設(shè)置有所述限位銷和所述鉤料銷，所述旋轉(zhuǎn)夾料氣缸與所述鉤料銷電性連接，所述軸承的一端連接有所述電機(jī)，另一端通過所述軸承座與所述旋轉(zhuǎn)底盤連接，所述電控柜控制所述單工位噴淋清洗機(jī)，所述儲液槽位于所述旋轉(zhuǎn)底盤的下部，所述進(jìn)水泵和所述噴淋泵分別與所述儲液槽相連接，所述噴嘴與所述噴淋泵連接且位于所述旋轉(zhuǎn)底盤的附近。

單工位髙壓噴淋清洗機(jī).單工位噴淋清洗機(jī).鑄造件清洗機(jī).汽車壓縮機(jī)零部件清洗機(jī) 該產(chǎn)品功能以下: . 同工位拿取產(chǎn)品工件.選用日本國的技術(shù)性及清理工藝.功能齊全.自動化技術(shù)水平高.不需人工服務(wù)干預(yù)(出入料可與外界生產(chǎn)流水線相互連接) . 配有油氣分離器.袋式過濾器.污水處理工藝.消耗量非常低并徹底做到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn).且配有優(yōu)良的除霧設(shè)備.避免霧水造成. . 清潔液液位儀全自動定量分析輸液. . 進(jìn)出料口感應(yīng)門開關(guān)智能操縱. . 設(shè)立控溫及加溫干躁系統(tǒng)軟件. . 各作用過壓保護(hù)光控警告作用. . 二十四小時智能化系統(tǒng)記憶力操縱.可對商品開展記數(shù). . 有人下單工藝和多工藝等各種各樣作用 . 適用汽車壓縮機(jī)零部件以及他汽車零配件的清理與干躁.

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因為化學(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時間比較短，對反應(yīng)需要一定時間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越先進(jìn)，對實際制造的幾個環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響，實際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。