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發(fā)布時間:2020-07-22 19:59  

金剛線切割技術

金剛線切割技術也被稱為固結磨料切割技術。它是利用電鍍或樹脂粘結的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產生磨削,達到切割的效果。

金剛線切割具有切割速度快,切割精度高,材料損耗低等特點。切割線的技術突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產量的折舊、人工和能源成本將降低一半。



?線切割設備

線切割設備的速度調整:

切割速度的大小不僅與材料的性質有關,與切割面的大小也有關系,同種材料切割時,被切面較大的切割速度設置就要相對較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面,速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡,因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型(平面度、平行度、表面粗糙度)時一般選用較慢的切割速度。樹脂金剛石線的特點:高強度樹脂及金剛石相結合帶來的強的切割能力,線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質量及切割表現(xiàn),高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。



線切割速度

線切割過程中的速度調整:

若設置的線切割速度與實際切割速度不匹配容易發(fā)生夾線,進而使金剛石線斷開,切割速度的設定沒有具體規(guī)定,一般根據經驗選擇。樹脂結合劑鋸線的耐磨性和耐熱性不如電鍍金剛石鋸線好,且效率較低,因此未來該技術也將被逐步淘汰。切割過程中當發(fā)現(xiàn)所選用的速度過大時可進行適當?shù)恼{整,速度的大小可根據金剛石線出現(xiàn)弧度的速度進行調整,若切割過程中金剛石線幾乎一直處于平直狀態(tài),說明所選用的切割速度還可以適當增加,直到調整到金剛石線的弧度狀態(tài)一直保持不變的,說明所選用的切割速度適于材料的切割



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