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每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。蘇州卓宇泰公司是一家主營設(shè)備搬遷、精準(zhǔn)定位、無塵車間、設(shè)備安裝,設(shè)備包裝,大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
無塵室的優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,無塵室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理;
進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
機器及材料帶進無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
潔凈室(無塵室)內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;