每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。

    無塵室的優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

    無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

     無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。　單流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。3、設置有無塵室的廠房與廠外周圍環(huán)境的相對位置及與廠內其它廠房設施之間的相對位置,適用于遠離產(chǎn)生粉塵、煙霧、有毒氣體的污染源,在污染源上風側,并有一定防護距離的原則。非單流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比風速重要，因此多只需要測量風量。

    無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

    清潔室內用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。2、無塵室廠區(qū)功能設施一定要配套,必須有保證產(chǎn)品生產(chǎn)所需的生產(chǎn)、倉庫、科研、辦公及水、電、汽、氣公用工程等主要功能廠房設施以外,還應配備三廢處理池、廢渣料與垃圾臨時堆放場地、停車庫、機修、飯?zhí)玫容o助設施。頭罩材質為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。