無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間?！瘟飨蛐蜔o(wú)塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無(wú)塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要，因此多只需要測(cè)量風(fēng)量。

    無(wú)塵潔凈室中的三塵。清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。無(wú)塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

    對(duì)于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公司在這個(gè)程序上的規(guī)定也不一樣。必須時(shí)刻遵守著裝程序。衣服不得與地板接觸。搬遷設(shè)備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過(guò)的不銹鋼板，作為輔助。與地板接觸會(huì)污染衣服。如果需要戴手套，必須使用潔凈室專用的無(wú)粉乳膠手套或者膠手套。因?yàn)橛械娜藢?duì)乳膠中的蛋白質(zhì)過(guò)敏，如果因使用了無(wú)粉乳膠手套而造成手部出現(xiàn)紅點(diǎn)，建議改用膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換，但不能在潔凈室里更換，只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來(lái)。