用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反?yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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高壓開關(guān)檢漏——氦質(zhì)譜檢漏儀

高壓電器行業(yè)提出的《生產(chǎn)63kv及以上GCB與GIS的必備條件》提出了產(chǎn)品符合技術(shù)條件和安全性。高壓開關(guān)設(shè)備使用SF6氣體作為絕緣滅弧的介質(zhì)，產(chǎn)品要求開關(guān)內(nèi)部的SF6氣體泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生產(chǎn)過程中就要對部件以及出廠整機(jī)做檢漏，高壓電器采用的氦質(zhì)譜檢漏儀的氦質(zhì)譜法比較方便，易操作，檢漏效果也得到認(rèn)同。

鹵素檢漏儀檢漏是過去常用的方法，由于靈敏度低，難免發(fā)生泄漏和誤檢，使總裝后的產(chǎn)品氣密性達(dá)不到要求，導(dǎo)致返工，不但浪費(fèi)了人力物力，也耽擱了生產(chǎn)周期。由于采用了氦質(zhì)譜檢漏儀彌補(bǔ)了傳統(tǒng)檢漏的不做，同時(shí)可以檢漏漏點(diǎn)和漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法根據(jù)被檢工件的情況而定的：

1.對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦，同時(shí)觀察漏率顯示，一大增大，就說明工件不合格。

2.對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。先用輔助抽空系統(tǒng)抽至5Pa以下，關(guān)掉抽氣閥，打開檢漏閥，進(jìn)行檢漏。漏率超過值即為不合格。

3.對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用吸槍在被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。

安徽諾益科技有限公司是一家專業(yè)從事氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢漏真空箱及回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為一體的專業(yè)型高科技企業(yè)。自成立以來嚴(yán)格執(zhí)行產(chǎn)品國際標(biāo)準(zhǔn)、及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，應(yīng)用現(xiàn)代經(jīng)營理念與管理手段，擁有強(qiáng)大的技術(shù)支持和先進(jìn)的生產(chǎn)與檢測設(shè)備，精心制造出穩(wěn)定性好、效率快和功能齊全的NOY品牌高精儀器產(chǎn)品。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：

1.檢測時(shí)間和響應(yīng)周期非常短，可以達(dá)到2s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護(hù)模式，充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時(shí)，達(dá)不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動報(bào)警提示。

5.多種計(jì)量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)更新，直接輸出生成Excel表格。

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質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運(yùn)動的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進(jìn)行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對強(qiáng)度大小，質(zhì)譜可對無機(jī)物、有機(jī)物和生物大分子進(jìn)行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機(jī)物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機(jī)物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應(yīng)用，是質(zhì)譜更好的運(yùn)用于生物化學(xué)大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用，已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門，農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機(jī)化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場的作用獲得動能形成離子束；進(jìn)入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運(yùn)動軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時(shí)間的不同而分離開；然后到達(dá)離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?，得到質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進(jìn)行分離、檢測和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進(jìn)樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號放大記錄系統(tǒng)組成

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