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發(fā)布時(shí)間:2020-12-17 17:22  
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視頻作者:深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司






旋片真空泵維修

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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。

真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)荩婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

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真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,目前這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái),伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭,同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下,我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。干泵國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。

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干式真空泵

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無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

2013年止,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。當(dāng)活塞再自左向右運(yùn)動(dòng)時(shí),又吸進(jìn)一部分氣體,重復(fù)前一循環(huán),如此反復(fù)下去,直到被抽容內(nèi)的氣體壓力達(dá)到要求時(shí)為止。其次,由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。

對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō),雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流,但不能徹di解決問(wèn)題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。

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真空泵

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   檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。s=2.303(v/t)lg(p1/p2)其中:s為真空泵抽氣速率(l/s)v為真空室容積(l)t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)p1為初始容器內(nèi)氣壓p2為抽氣后容器內(nèi)氣壓影響因素它是決議產(chǎn)品的大小,抽氣量請(qǐng)求愈高,產(chǎn)品體積相對(duì)愈大,所需配用的電機(jī)功率亦會(huì)愈高。它是決議產(chǎn)品采用何種構(gòu)造,真空度是有表壓及絕dui壓力這兩種讀數(shù)。絕dui壓力表示讀數(shù)是絕dui值,即讀數(shù)愈靠近‘0',真空度愈高。15~30L/S(升/秒)極限壓強(qiáng):≤6*10-2Pa(帕)極限真空:≤1。但反觀表壓,愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高,假若你所請(qǐng)求的絕dui壓力(極限真空)是靠近‘0',那么只要真空泵才能夠滿足這個(gè)需求。




真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專(zhuān)門(mén)從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下,通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用,使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

氦分子在質(zhì)譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高,用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低,分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小,因而極易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;分子泵分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。另外,氦系惰性氣體是無(wú)破壞性、無(wú)du、無(wú)危險(xiǎn),不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質(zhì)譜檢漏儀(調(diào)整到僅對(duì)氦起反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器某一部位有漏孔,則氦質(zhì)譜檢漏儀立即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在位置及檢測(cè)漏氣量大小。

泄漏和密封是相對(duì)而言的,氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)被檢容器的泄漏程度的量化一般用漏率來(lái)表示,其計(jì)算方法原理如下:

漏率的定義:Q1=Δp×VΔt[1]。

式中:Δp為壓強(qiáng)的變化量;V為容器的體積;Δt為時(shí)間的變化量。

因此漏率可簡(jiǎn)單理解為:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi),單位體積容器,壓強(qiáng)的變化。




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