真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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機械系統(tǒng)主要由以下四個單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設(shè)定的時間內(nèi)對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進口產(chǎn)品，自動校準(zhǔn)漏孔。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進行連接，在真空箱門關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。這種結(jié)構(gòu)可能導(dǎo)致氣體注入過程與氣體朝泄漏點相對側(cè)滲漏過程之間存在相當(dāng)長的延遲。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關(guān)真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內(nèi)充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統(tǒng)報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；C1：若B2檢測不通過，則系統(tǒng)報警-----循環(huán)檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內(nèi)充入大氣，同時工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

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氧撿漏介紹

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真空計檢漏　根據(jù)相對真空計（熱導(dǎo)真空計和電離真空計等）的讀數(shù)檢漏的方法。真空計的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。通常，建議在機加工和酸洗工序結(jié)束之后、表面處理(比如涂漆、電化學(xué)鍍膜或氧化處理)之前進行泄漏檢查。示漏氣體進入系統(tǒng)后會引起真空計讀數(shù)的突然變化。熱導(dǎo)真空計可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏　圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構(gòu)成一個間熱式二極規(guī)管。當(dāng)加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發(fā)出的正離子在負(fù)電場下到達陰極形成電流。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發(fā)射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應(yīng)制成的。檢漏時將規(guī)管接到系統(tǒng)中，并將系統(tǒng)抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置?；蚺c此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統(tǒng)內(nèi)，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質(zhì)譜檢漏　很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計作為檢漏工具，工作原理與真空質(zhì)譜計相同，差別僅在于氦質(zhì)譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因為它只檢測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當(dāng)犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、性能穩(wěn)定、操作方便等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)如圖所示。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要技術(shù)指標(biāo)有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應(yīng)時間與清除時間，單位為秒；③工作壓強與極限壓強，單位為帕。