氦檢漏設(shè)備的工藝流程

A1:安裝工件-----關(guān)真空箱門-----真空箱抽真空，同時(shí)工件內(nèi)充高壓氮?dú)?----大漏及強(qiáng)度檢測(cè);

B1:若A1檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警，大漏工件序號(hào)顯示-----檢測(cè)程序中止;

B2:若A1檢測(cè)通過(guò)，放掉氮?dú)?-----對(duì)工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測(cè);

C1:若B2檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警-----循環(huán)檢，小漏工件序號(hào)顯示------檢測(cè)程序中止;

C2:若B2檢測(cè)通過(guò)，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開(kāi)門，檢測(cè)完成。

氦質(zhì)譜檢漏儀

待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過(guò)程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進(jìn)入電離室，真空度≥1x10-1Pa時(shí)，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長(zhǎng)？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過(guò)大；3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟，或者說(shuō)盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開(kāi)關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。

2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜擇功能，一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過(guò)程。

4.全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過(guò)不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進(jìn)行分離檢測(cè)的分析方法，是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對(duì)強(qiáng)度大小，質(zhì)譜可對(duì)無(wú)機(jī)物、有機(jī)物和生物大分子進(jìn)行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應(yīng)用，是質(zhì)譜更好的運(yùn)用于生物化學(xué)大分子。90年代以來(lái)，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用，已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門，農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機(jī)化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場(chǎng)的作用獲得動(dòng)能形成離子束；進(jìn)入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時(shí)間的不同而分離開(kāi)；然后到達(dá)離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，得到質(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測(cè)得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進(jìn)行分離、檢測(cè)和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進(jìn)樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號(hào)放大記錄系統(tǒng)組成

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