用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反?yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術(shù)在我國經(jīng)濟(jì)中占有非常重要的地位，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無毒性、無破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因?yàn)榧冩u絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動時(shí)極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴(kuò)展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯(cuò)能量，降低位錯(cuò)移動的晶界阻抗，從而使位錯(cuò)遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險(xiǎn)，錸濃度高時(shí)的塑化效應(yīng)降低。

鎢錸絲具有高熔點(diǎn)，高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發(fā)脆斷，在有氫氣存在的情況下，會加速碳化。

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氦氣檢測方法

深圳銳誠真空——專業(yè)氦檢漏設(shè)備供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

1 氦氣測量精度較高。

在室溫和大氣壓力下，氦是無色、無味的氣體，是人類發(fā)現(xiàn)臨界溫度的物質(zhì)。氦是單原子氣體，化學(xué)性質(zhì)不活潑。氦氣一般不生成化合物，在低壓放電管中受激發(fā)可形成He 2、HeH等離子及分子，廣泛應(yīng)用于、科研、石化、制冷、、半導(dǎo)體、管道檢漏、超導(dǎo)實(shí)驗(yàn)、金屬制造、深海潛水、焊接、光電子產(chǎn)品生產(chǎn)等。由于氦氣是惰性氣體，因此不會腐蝕設(shè)備。應(yīng)用氦氣質(zhì)譜檢測儀，能夠?qū)z測合格及不合格的鋁合金車輪自動區(qū)分到不同的地方，使輪胎的質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)降低，防止微小漏氣造成的安全隱患。

2 降低人工成本。

由于氦氣氣密檢測設(shè)備是全自動操作設(shè)備，既不需要人工搬運(yùn)鋁合金車輪，也不需要操作人員目不轉(zhuǎn)睛地觀察，實(shí)現(xiàn)自動化，使得人工成本得到降低。

3 .大大提升檢測效率。

正常情況下，每班次能夠檢測鋁合金車輪1300只，每年就可以檢測140多萬只鋁合金車輪，而傳統(tǒng)的氣泡檢測設(shè)備每班次只能檢測300只，每年檢測30多萬只。由此可見，應(yīng)用氦氣檢測方法，能夠使檢測效率得到大大提升。