氦質(zhì)譜檢漏原理

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氦質(zhì)譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質(zhì)、以磁質(zhì)譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，氦檢漏設備，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pam3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學控制元件三大部分組成。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，氦檢漏設備價格，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。檢漏儀在質(zhì)譜室中將氣體電離，這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，由于不同荷質(zhì)比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉(zhuǎn)半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏設備保養(yǎng)，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經(jīng)過放大后顯示在質(zhì)譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣，是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設備；

⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。

氦質(zhì)譜檢漏儀

待機時電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過程中，當出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導致大量的氣體突然進入電離室，真空度≥1x10-1Pa時，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。

氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲壽命如何延長？有前面分析已知，造成氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過大；3.對燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟，或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦質(zhì)譜檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預置真空開關空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。

質(zhì)譜法基本原理

質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法（mass spectrometry,MS），是通過不同的離子化方式，將試樣（原子或分子）轉(zhuǎn)化為運動的氣態(tài)離子，并按照質(zhì)荷比（m/z）大小進行分離檢測的分析方法，是一種與光譜并列的譜學方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對強度大小，質(zhì)譜可對無機物、有機物和生物大分子進行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜，并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期，快原子轟擊電離的應用，是質(zhì)譜更好的運用于生物化學大分子。90年代以來，隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應用，已形成生物質(zhì)譜學一新學科[1]。目前，質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應用于原子能、化學、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門，農(nóng)業(yè)科學研究部門，以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學、有機化學等科學技術領域[2]。

質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離，生成各種類型帶電粒子或離子，經(jīng)加速電場的作用獲得動能形成離子束；進入質(zhì)量分析儀，在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異，將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開；然后到達離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘枺玫劫|(zhì)譜圖。

質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu)，化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進行分離、檢測和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進樣系統(tǒng)，離子源，質(zhì)量分析儀，離子及信號放大記錄系統(tǒng)組成

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