高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2.管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高，通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計(jì)方面，則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”～3/8”。（7）氣瓶在儲(chǔ)存、使用時(shí)必須直立放置，工作地點(diǎn)不固定且移動(dòng)頻繁時(shí)，應(yīng)固定在專用手推車(chē)上，防止傾倒，嚴(yán)禁臥放使用。

3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置、用以控制各個(gè)閥門(mén)的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。

5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端氣體過(guò)濾器。

工業(yè)氣體管道壓力試驗(yàn)方法

氣體管道壓力試驗(yàn)方法

管道系統(tǒng)安裝完畢后，為了檢查管道系統(tǒng)的強(qiáng)度和嚴(yán)密性及保證安裝質(zhì)量，

應(yīng)對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)。

試壓的一般規(guī)定

1管道試壓前應(yīng)全i面檢查、核對(duì)已安裝的管子、管件、閥門(mén)、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

2管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對(duì)于同向大氣的無(wú)壓管線，如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

3試壓前將不能與管道一起試壓的設(shè)備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離，應(yīng)將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時(shí)裝上短管4管道上所有開(kāi)口應(yīng)封閉，系統(tǒng)內(nèi)的閥門(mén)應(yīng)開(kāi)啟。

5試壓時(shí)，應(yīng)用精度等級(jí)1.5級(jí)以上的壓力標(biāo)2只，表的量程應(yīng)為測(cè)壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統(tǒng)壓力

波動(dòng)較小的其他位置。

6試壓時(shí)應(yīng)將壓力緩慢升至試驗(yàn)壓力，并注意觀察管道各部分情況，如發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，應(yīng)卸壓后進(jìn)行修理，禁止帶壓修理。缺陷消除后重新試壓。

7當(dāng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)劃定禁區(qū)，無(wú)關(guān)人員不能進(jìn)入，防止傷人。

8對(duì)于劇i毒管道及設(shè)計(jì)壓力P≥10Mpa管道，壓力試驗(yàn)前應(yīng)按規(guī)范要求將各項(xiàng)資料經(jīng)設(shè)計(jì)單位復(fù)查，確認(rèn)無(wú)誤。

9試壓方案已經(jīng)過(guò)批準(zhǔn)，且進(jìn)行了技術(shù)交底。

10管道系統(tǒng)試驗(yàn)合格后，應(yīng)及時(shí)填寫(xiě)“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”，有關(guān)人員簽字確認(rèn)。

氣路系統(tǒng)百科知識(shí)

      一、氣瓶間。

　　1、鋼瓶間的設(shè)計(jì)宜設(shè)在中心化驗(yàn)室的主入口側(cè)，并應(yīng)采取遮陽(yáng)防曬措施，當(dāng)鋼瓶間與建筑物為一體時(shí)，隔墻應(yīng)為鋼筋混凝土防爆墻。

　　2、通風(fēng)良好，并具有足夠的泄爆面積，室內(nèi)地面應(yīng)有防火花，防靜電措施;

　　3、可燃?xì)怏w鋼瓶(H2，C2H2)與助燃?xì)怏w鋼瓶(O2)應(yīng)隔開(kāi)布置;

　　4、還應(yīng)設(shè)立泄露報(bào)警系統(tǒng)。

　　二、色譜室。

　　1、中心化驗(yàn)室的管道應(yīng)統(tǒng)籌規(guī)劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

　　2、引入中心化驗(yàn)室的工藝管道總管應(yīng)設(shè)切斷閥，并根據(jù)需要設(shè)置壓力表、溫度計(jì)、流量計(jì)、過(guò)濾器和減壓閥等。閥門(mén)或儀表宜設(shè)置在便于觀察和檢修的位置;

　　3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設(shè);

　　4、管道宜集中布置并沿墻明設(shè)，且方便安裝及檢修;

　　5、使用鋼瓶氣管道的設(shè)備臺(tái)應(yīng)離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

　　6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應(yīng)采用螺紋連接和使用閘閥。