特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。氣體管道安裝氣體管道（gaspipeline）包括控制閥門、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)在氣體入口室。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。10、供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測試、密封測試和穩(wěn)定性測試。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準(zhǔn)確性。

工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)i先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。

減壓器的使用要點(diǎn)

(1) 使用前應(yīng)確認(rèn)減壓器是完好的,并檢查有無油脂污染,特別是進(jìn)口處的污物及灰塵等應(yīng)及時(shí)清除。

(2) 檢查氣瓶是否有油脂污染,螺紋是否損壞,如發(fā)現(xiàn)有油脂或螺紋損壞,就不再使用該氣瓶,并將這些情況通知供氣單位,清除氣瓶閥(特別是閥口處)的油脂污染,修復(fù)螺紋。

(3) 把減壓器裝到氣瓶閥上,將輸入輸出接頭擰緊。

(4) 打開氣瓶閥前,先要把減壓器調(diào)節(jié)螺桿逆時(shí)針方向旋到調(diào)節(jié)彈簧不受壓力為止。

(5) 打開氣瓶閥前,先不要站在減壓器的正面或背面。氣瓶閥應(yīng)緩慢開啟至高壓表指示出氣瓶內(nèi)壓力。

(6) 順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)減壓器調(diào)節(jié)螺桿使低壓表達(dá)到所需的工作壓力。如果太高應(yīng)旋松調(diào)節(jié)螺桿,放出一部分氣后重新調(diào)節(jié)。

(7) 當(dāng)工作結(jié)束后,先關(guān)閉氣瓶閥,然后打開設(shè)備上的閥把減壓器內(nèi)的氣體全部排出。接著把剛才打開的閥門關(guān)好,逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺桿,一直到調(diào)節(jié)彈簧不受壓為止。

(8) 減壓器應(yīng)妥善保存避免撞擊振動,不要放在露天和有腐蝕性介質(zhì)的地方。

(9) 減壓器只能使用規(guī)定的氣體。

現(xiàn)在實(shí)驗(yàn)室常會用到各類分析儀器，這些儀器都需要使用載氣和燃料氣，這些氣體的控制系統(tǒng)對于實(shí)驗(yàn)人員和價(jià)格高昂的實(shí)驗(yàn)器材的安全都是至關(guān)重要的。它必須確保這些氣體的穩(wěn)定性和安全性。因此在氣體管路安裝過程中我們要注意腐蝕1)濕氣腐蝕例如HCL、CL2在有水存在時(shí)很容易腐蝕鋼瓶，水分的引入可能來源于客戶使用，沒有關(guān)閉閥門，也可能在充裝過程中或水壓檢驗(yàn)中。多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣—質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨(dú)立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺儀器設(shè)備單獨(dú)配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺儀器設(shè)備的使用，但隨著近年來實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難。    

目前主流氣路編排主要是實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)。