ZF500有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)

廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等，半導(dǎo)體、有機(jī)EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺(tái)、 真空抽氣及測量、膜厚測試 、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標(biāo)：

極限真空度4×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

樣品臺(tái)：尺寸為4英寸4平面樣品；

有機(jī)束源爐：數(shù)量：4支，標(biāo)準(zhǔn)型600度控溫；

樣品架：安裝加熱爐。基片的溫度從室溫至600℃（硅片上表面的溫度，只需標(biāo)定一次即可）

4套擋板系統(tǒng)：動(dòng)密封手動(dòng)控制；

樣品擋板（１套），磁力撥叉，

膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

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多源蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)供應(yīng)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

主要用途：　　

系統(tǒng)主要用來生長EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作　　

該類設(shè)備為雙室?guī)痔紫浣Y(jié)構(gòu)的有機(jī)、無機(jī)、多源有機(jī)、無機(jī)氣相分子沉積設(shè)備，采用直線式結(jié)構(gòu)，由一個(gè)金屬材料生長、氧化物生長室、一個(gè)有機(jī)材料生長室和一個(gè)手套箱組成，金屬材料生長和氧化物生長室以及進(jìn)樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯(lián)接，樣品通過帶遠(yuǎn)程手控盒功能的電動(dòng)磁力耦合裝置在兩個(gè)生長室之間手動(dòng)傳遞?？蛇x手套箱。7、滾動(dòng)腔體特殊設(shè)計(jì)，沉積速度快，成膜時(shí)間短，大大提高生產(chǎn)效率?！　?/span>

真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

1、在光學(xué)薄膜領(lǐng)域中的應(yīng)用:增透膜、反膜、截止濾光片、防偽膜等。

2、在建筑玻璃方面的應(yīng)用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。

3、在防護(hù)涂層中的應(yīng)用:飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等。

4、在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。

5、在太陽能利用領(lǐng)域的應(yīng)用:太陽能集熱管、太陽能電池等。

6、在集成電路制造中的應(yīng)用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。

7、在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域的應(yīng)用:磁信息存儲(chǔ)、磁光信息存儲(chǔ)等。

8、在信息顯示領(lǐng)域的應(yīng)用:液晶屏、等離子屏等。

9、在裝飾飾品上的應(yīng)用:手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。

10、在建筑玻璃方面的應(yīng)用:陽光控制膜、低輻射玻璃、 防霧防露和自清潔玻璃等。

11、在防護(hù)涂層中的應(yīng)用:飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等。

12、在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用:切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。

13、在太陽能利用領(lǐng)域的應(yīng)用:太陽能集熱管、太陽能電池等。

14、在集成電路制造中的應(yīng)用:薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。

15、在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域的應(yīng)用:磁信息存儲(chǔ)、磁光信息存儲(chǔ)等。

16、在信息顯示領(lǐng)域的應(yīng)用:液晶屏、等離子屏等。

17、在裝飾飾品上的應(yīng)用:手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、 小飾品等鍍膜。