EM 系列泵是結(jié)實耐用的機械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉(zhuǎn)高真空泵 愛德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。EM系列真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、噪音小、低功耗、低工作溫度的特點。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。愛德華70#真空泵油特性：真空泵油具的氧化穩(wěn)定性，長期在高溫條件下與空氣、樹脂、化學(xué)原料等直接接觸亦不易變質(zhì)，減少有害漆膜和油垢的形成，提供較長的換油周期。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

愛德華70#真空泵油應(yīng)用：

   真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學(xué)等領(lǐng)域的真空泵使用。

供應(yīng)英國愛德華19號真空泵油，質(zhì)量保證規(guī)格4L /208L現(xiàn)貨，愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號選用油號對用，因為真空泵油粘度不一樣。

真空泵泵體振動大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動。含氧成分高的工況，旭選用特殊的真空泵油，如合成油等當沒有合適的專用油，可選擇漢族要質(zhì)量指標（黏度）相近的真空泵油替代，當規(guī)定的規(guī)定的真空泵油到貨后，應(yīng)馬上更換替代油品。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過量所致)，其對葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動，同時增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進水壓力不能準確衡量進水供應(yīng)情況，一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環(huán)的工作情況。