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所采用的凈化空調機組內有冷卻、去濕、加熱、加濕設備及粗、中、高三級過濾器時,可將機組設置在潔凈室的外間或相鄰的走道。出風口接管道至潔凈室側墻或吊頂,用格棚或其他散流裝置向潔凈室送風。回風從下側墻回至外間或走廊與經粗過濾的新風混合后被吸入凈化空調機組。很多工業(yè)潔凈承包企業(yè)將成本較低的工業(yè)潔凈設備與技術直接用于醫(yī)院凈化區(qū)域,縮短了設備使用壽命、增加了系統(tǒng)的風險。新風宜由帶小風扇和過濾器的新風機組送入,以保證外間或走廊相對于室外的正壓。
無塵室設計及工作環(huán)境的介紹
無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用1大顆粒大小來厘定的。1)檢查門框與橡膠墊圈有無損壞、是否平整、門的鎖扣是否靈活、有效。低級別的潔凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。
無塵室的定義:空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環(huán)境。亦即:這個環(huán)境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。降膜式蒸發(fā)器的傳熱溫差小,可適當加大水的溫差,因而減少了使用的地下水流量和水泵功耗。作為生產設施,潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。
無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內的制造區(qū)。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經由回風管道間,將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格,通過循環(huán)風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,后經過超過濾網或過濾后,供應至Fab區(qū)。彈簧自封式快速接頭克服了一次性快速接頭的上述缺點,它可以多次使用而不致破壞系統(tǒng)的密封性。
降低潔凈室的熱(冷)負荷的技術措施
①根據(jù)產品生產工藝要求,確定合適的潔凈室內空氣潔凈度等級和溫度、相對濕度參數(shù),在滿足生產工藝的前提下,從節(jié)約能源的角度出發(fā),按不同工序房}間的不同要求確定空氣潔凈度等級、溫度、相對濕度參數(shù),可能就低時盡可能采用較低的取值。 潔凈廠房設計時,應與業(yè)主、產品生產工藝技術提供者充分交流,反復討論比較,合理進行潔凈分區(qū)規(guī)劃,盡可能地減少潔凈室面積或減少高2級別類潔凈室的面積,這是降低潔凈廠房的熱(冷)負荷的有效途徑。并不是越貴的空氣過濾器越好,當然這是對于國內空氣過濾器市場混亂來說的,怎么去判斷一個空氣過濾器是否該更換。