常用的光學(xué)鍍膜有哪些？

干涉濾光片

是種類(lèi)多、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的一類(lèi)光學(xué)薄膜。它的主要功能是分割光譜帶。常見(jiàn)的干涉濾光片是截止濾光片和帶通濾光片。截止濾光片可以把所考慮的光譜區(qū)分成兩部分，一部分不允許光通過(guò)（稱(chēng)為截止區(qū)），另一部分要求光充分通過(guò)（稱(chēng)為帶通區(qū)）。按照通帶在光譜區(qū)的位置又可分為長(zhǎng)波通和短波通二種，它們簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)分別為，這里H、L分別表示厚的高、低折射率層，m為周期數(shù)。具有以上結(jié)構(gòu)的膜系稱(chēng)為對(duì)稱(chēng)周期膜系。如果所考慮的光譜區(qū)很寬或通帶透過(guò)率的波紋要求很高，膜系結(jié)構(gòu)會(huì)更加復(fù)雜。

帶通濾光片只允許光譜帶中的一段通過(guò)，而其他部分全部被濾掉,按照它們結(jié)構(gòu)的不同可分為法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片。

光學(xué)薄膜的結(jié)構(gòu)與法－珀標(biāo)準(zhǔn)具相同，因?yàn)橛伤@得的透過(guò)光譜帶都比較窄，所以又叫窄帶干涉濾光片。這種濾光片的透過(guò)率對(duì)薄膜的損耗非常敏感，所以制備透過(guò)率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。多腔濾光片又叫矩形濾光片，它可以做窄帶帶通濾光片，又可以做寬帶帶通濾光片，制備波區(qū)較寬，透過(guò)率高，波紋小的多腔濾光片同樣是困難的。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系，以增加勢(shì)透過(guò)率，減少反射，使通帶透過(guò)率增加的一類(lèi)濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價(jià)值。特別在紫外區(qū)，一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。

真空鍍膜技術(shù)優(yōu)點(diǎn)

清洗過(guò)程簡(jiǎn)化：現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)PVD涂層鍍膜工藝，多數(shù)均要求事先對(duì)工件進(jìn)行嚴(yán)格清洗，既復(fù)雜又費(fèi)事。然而，離子鍍工藝自身就有一種離子轟擊清洗作用，并且這一作用還一直延續(xù)于整個(gè)鍍膜過(guò)程。清洗效果良好，能使鍍層直接貼近基體，有效地增強(qiáng)了附著力，簡(jiǎn)化了大量的鍍前清洗工作。

可鍍材料廣泛：離子鍍由于是利用高能離子轟擊工件表面，使大量的電能在工件表面轉(zhuǎn)換成熱能，從而促進(jìn)了表層組織的擴(kuò)散作用和化學(xué)反應(yīng)。然而，整個(gè)工件，特別是工件心部并未受到高溫的影響。因此這種鍍膜工藝的應(yīng)用范圍較廣，受到的局限性則較小。通常，各種金屬、合金以及某些合成材料、絕緣材料、熱敏材料和高熔點(diǎn)材料等均可鍍復(fù)。即可在金屬工件上鍍非金屬或金屬，也可在非金屬上鍍金屬或非金屬，甚至可鍍塑料、橡膠、石英、陶瓷等。

多功能鍍膜設(shè)備及鍍膜方法與流程

現(xiàn)在，真空鍍膜機(jī)是用于外表處理PVD膜層的專(zhuān)用設(shè)備，包含真空磁控濺射鍍膜機(jī)、真空蒸騰鍍膜機(jī)、真空多弧離子鍍膜機(jī)等，真空磁控濺射鍍膜機(jī)可在低溫狀態(tài)下進(jìn)行非金屬資料進(jìn)行鍍膜，真空蒸騰鍍膜機(jī)和真空多弧離子鍍膜機(jī)歸于高溫鍍膜，適用于金屬資料鍍膜。

每種鍍膜機(jī)都有各自特色和使用范圍約束，如需鍍制多種不同膜層以及進(jìn)行金屬和非金屬資料的鍍膜，需求置辦上述多種真空鍍膜機(jī)，存在設(shè)備出資大的缺陷。

為了處理上述問(wèn)題，供給一種多功能鍍膜設(shè)備及鍍膜辦法。手套箱蒸鍍一體機(jī)，本體系由真空鍍膜體系和手套箱體系集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體空氣下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。首要用于太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導(dǎo)體制備等試驗(yàn)研討與使用。

蒸騰鍍膜與手套箱組合，完成蒸鍍、封裝、測(cè)驗(yàn)等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜成長(zhǎng)和器材制備進(jìn)程高度集成在一個(gè)完好的可控環(huán)境空氣的體系中，消除有機(jī)大面積電路制備進(jìn)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定要素影響，保證了、大面積有機(jī)光電器材和電路的制備。

全自動(dòng)真空鍍膜機(jī)

適應(yīng)于玻璃、塑膠等基片上鍍制各類(lèi)光學(xué)薄膜和其它機(jī)能性裝飾薄膜的批量化生產(chǎn)

采用先進(jìn)的電氣控制系統(tǒng)，良好的用戶(hù)操作界面，大大減輕作業(yè)人員的負(fù)擔(dān)

RCS自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)保證整個(gè)鍍膜過(guò)程自動(dòng)完成

基片架轉(zhuǎn)動(dòng)采用磁流體密封技術(shù)保證真空密封，中心驅(qū)動(dòng)方式保證薄膜產(chǎn)品的均勻性及重復(fù)性

優(yōu)化的配置、嚴(yán)格的品質(zhì)控制保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性

排氣速率.鍍膜效率的提高，大大縮短了產(chǎn)品生產(chǎn)周期