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將新石墨舟及應用超出三年的舊石墨舟飽和狀態(tài)后開展PECVD表層的鍍膜,片間勻稱性差別如圖所示7所顯示。由圖7得知,新石墨舟表面平面度好,石墨舟片導電率一致,塑料薄膜分子結構能夠勻稱地沉積在硅片表面,片間勻稱性更好。
新石墨舟飽和狀態(tài)后在沉積時仍有一部分等離子技術在石墨舟上面沉積,運作頻次低于三十次時,伴隨著運作頻次的提升,石墨舟上面沉積的等離子技術降低,片間勻稱性越佳。
假如說中國生產石墨舟的生產廠家哪個技術水平較強,那么就是非石墨莫屬了,石墨生產的PECVD石墨舟有下列特性:
1采用了清除"彩片"的生產技術性,長期性加工工藝生產中不造成彩片";
2采用法國西格內進口高純度石墨原材料制做,殘渣成分低,抗壓強度高;
3、瓷器拼裝件采用99.9瓷器,耐腐蝕特性強,不容易崩裂
4,采用了精密機械加工機器設備,聘用了專業(yè)技術人員,確保了每一個零配件的精密度;
5能徹底配對CT、捷佳偉創(chuàng)、天雄、賽瑞達、七星華創(chuàng)等生產廠家的火爐。