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PECVD石墨舟廠推薦廠家 東莞石金科技

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發(fā)布時間:2021-03-05 13:28  








新研究發(fā)現,不管是將石墨板直接放在銅、鎳表面上還是通過其他方法轉換到其他金屬表面,都能讓金屬免遭腐蝕。在實驗中,他們讓單層石墨板通過化學氣相沉積(CVD)在銅上生長從而包裹住銅,結果表明,其腐蝕速度比光禿禿的銅慢7倍;通過讓多層石墨板在鎳上生長從而包裹住鎳,其腐蝕速度比光禿禿的鎳慢20多倍。另外,令人驚奇的是,單層石墨板與傳統(tǒng)有機涂層的抗腐蝕能力一樣,但有機涂層的厚度是石墨板的5倍。


但是在使用石墨制品加工件時,為避免設備結構脫落,也需要注意一些問題。通常情況下,如坩堝等一類的石墨制品可以直接受熱,但在加熱后不能立即冷卻,將其取下后也不要放在冷的金屬桌面上,避免石墨制品加工件由于急劇冷卻降溫而發(fā)生破損。此外,在使用石墨制品時一定要留意設備的完好性,看是否有明顯的裂痕存在,且在使用后要定期進行檢查,若長期不使用還應進行一定的清潔工作,確保石墨制品加工件在使用的過程中不會因為表面殘渣而造成損壞。此外,應以正確的操作方法使用,避免錯誤的方法給石墨制品造成損壞。


將新石墨舟及應用超出三年的舊石墨舟飽和狀態(tài)后開展PECVD表層的鍍膜,片間勻稱性差別如圖所示7所顯示。由圖7得知,新石墨舟表面平面度好,石墨舟片導電率一致,塑料薄膜分子結構能夠勻稱地沉積在硅片表面,片間勻稱性更好。

新石墨舟飽和狀態(tài)后在沉積時仍有一部分等離子技術在石墨舟上面沉積,運作頻次低于三十次時,伴隨著運作頻次的提升,石墨舟上面沉積的等離子技術降低,片間勻稱性越佳。




假如說中國生產石墨舟的生產廠家哪個技術水平較強,那么就是非石墨莫屬了,石墨生產的PECVD石墨舟有下列特性:

1采用了清除"彩片"的生產技術性,長期性加工工藝生產中不造成彩片";

2采用法國西格內進口高純度石墨原材料制做,殘渣成分低,抗壓強度高;

3、瓷器拼裝件采用99.9瓷器,耐腐蝕特性強,不容易崩裂

4,采用了精密機械加工機器設備,聘用了專業(yè)技術人員,確保了每一個零配件的精密度;

5能徹底配對CT、捷佳偉創(chuàng)、天雄、賽瑞達、七星華創(chuàng)等生產廠家的火爐。





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