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差壓傳感器簡介
傳感器在朝著靈敏、適應(yīng)性強、小巧和智能化的方向發(fā)展。在這一過程中,光纖傳感器這個傳感器家族的新成員倍受青睞。光纖具有很多優(yōu)異的性能,例如:具有抗電磁和原子輻擾的性能,徑細、質(zhì)軟、重量輕的機械性能;絕緣、無感應(yīng)的電氣性能;耐水、耐高溫、耐腐蝕的化學性能等,它能夠在人達不到的地方(如高溫區(qū)),或者對人有害的地區(qū)(如區(qū)),起到人的耳目的作用,而且還能超越人的生理界限,接收人的感官所感受不到的外界信息。
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差壓傳感器工作原理
一般說來,差壓傳感器的主件是進口性能較高的硅壓阻式傳感芯片,該芯片的核心部分是做成杯狀的硅膜片,在硅膜片上,用半導體工藝的擴散摻雜法做四個相等的電阻,接成惠斯登電橋,再用壓焊法與外引線相連。膜片的一側(cè)是和被測系統(tǒng)相連接的高壓腔,另一側(cè)是低壓腔,當膜片兩邊存在壓力差而發(fā)生形變時,膜片各點產(chǎn)生應(yīng)力從而使擴散電阻的值發(fā)生變化, 電橋失去平衡,輸出相應(yīng)的電壓,其電壓大小就反映了膜片所受的壓力差值,并且與壓力差值成線性關(guān)系。
壓力傳感器的工作原理
學傳感器的種類(Species)繁多,如電阻應(yīng)變片壓力(pressure)傳感器、半導體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。但應(yīng)用較為廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。
在了解壓阻式力傳感器時,我們首先認識一下電阻應(yīng)變片這種元件。電阻應(yīng)變片是一種將被測件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號的敏感器件。它是壓阻式應(yīng)變傳感器(transducer)的主要組成部分之一。電阻應(yīng)變片應(yīng)用較多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導體應(yīng)變片兩種。金屬電阻應(yīng)變片又有絲狀應(yīng)變片和金屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學應(yīng)變基體上,當基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時,電阻(中文名:電阻器) 應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。這種應(yīng)變片在受力時產(chǎn)生的阻值變化通常較小,一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路顯示或執(zhí)行機構(gòu)。