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凌凈(廈門)環(huán)境科技有限公司提供各類凈化等級(jí)潔凈廠房、潔凈車間、潔凈手術(shù)室、實(shí)驗(yàn)室等凈化工程、中央空調(diào)系統(tǒng)工程、恒溫恒濕精密空調(diào)工程、高低溫冷庫(kù)工程,設(shè)計(jì)、安裝、施工、調(diào)試、維護(hù)以及銷售實(shí)驗(yàn)室設(shè)備耗材,潔凈設(shè)備耗材等。
在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對(duì)要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場(chǎng)合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:,一氣流以一個(gè)方向流動(dòng)。
直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露
吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室,由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。