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退火爐
湘潭華宇電爐制造有限公司是各類工業(yè)電爐的專業(yè)生產(chǎn)廠家,公司湘潭華宇電爐制造有限公司積數(shù)十年開發(fā)生產(chǎn)工業(yè)電爐成套設(shè)備的經(jīng)驗,擁有雄厚的技術(shù)力量及非標設(shè)備的設(shè)計、制造能力,產(chǎn)品用戶遍布全國各地。近幾年積累了豐富的不銹鋼結(jié)構(gòu)件的加工經(jīng)驗,具有較強的不銹鋼結(jié)構(gòu)件的加工能力。
退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋該诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。
退火爐特點
1、材料整個退火工藝過程都置于保護氣氛中,經(jīng)退火的工件表面光亮無氧化,材料表面不脫碳氧化。
2、由于爐內(nèi)保護氣由風(fēng)機強對流循環(huán),爐溫均勻,使爐內(nèi)溫差控制在5℃以內(nèi);從而有效保證爐內(nèi)所有退火材料軟硬一致,便于材料深加工。
3、采用雙爐座升溫、冷卻,準連續(xù)作業(yè)模式。爐體結(jié)構(gòu)科學(xué)合理,節(jié)能效果明顯,噸鋼能耗低國內(nèi)。單爐裝容達90噸,生產(chǎn)。
4、經(jīng)該型爐處理的材料表面光亮,免除酸洗工藝,潔凈工作環(huán)境,消除了酸污染。
5、整套設(shè)備全部微機控制,自動化程度高,能有效保證產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備安全運行。
適用范圍:1、黑色金屬鋼帶、鋼絲、鋼管件中間和成品光亮退火。2、有色金屬銅帶、銅絲、銅管、銅棒中間和成品光亮退火。3、標準件、鏈條、機械零部件等散件光亮退火。
真空退火爐主要結(jié)構(gòu)形式
主要結(jié)構(gòu)形式:該爐主要由爐罩、爐罩驅(qū)動機構(gòu)、節(jié)能型全纖維耐火爐襯、高溫高輻射電熱元件、軟密緊機構(gòu)、爐臺、爐臺導(dǎo)電電極箱、智能PID溫度程序控制系統(tǒng)等主要部分組成。5.1.爐罩殼體:主要采用國標型鋼骨架及鋼板焊接而成,保證了爐子的密封性能及足夠的剛強度,且所有焊縫均勻平滑,無氣孔、夾雜、未熔合等缺陷,爐殼外觀平直、美觀。爐殼外電熱元件引出棒集中分布,并外設(shè)防護罩。
退火爐的結(jié)構(gòu)特點
結(jié)構(gòu)特點: 加熱室采用不銹鋼骨架,隔熱屏為多層石墨氈,使用壽命長,易維護。采用石墨管加熱器,易安裝維護,故障率低。氣冷系統(tǒng)有大功率高速電機、大風(fēng)量高壓葉輪、蝸殼及導(dǎo)流板、銅管銅串片換熱器和導(dǎo)流裝置等組成,可實現(xiàn)氣流有換熱器-風(fēng)機-導(dǎo)流裝置-工件-換熱器的高速循環(huán),以使工件得到快速均勻的冷卻。加熱室也可以采用全金屬結(jié)構(gòu)。電控系統(tǒng)采用PLC與可編程溫度控制器的方式,實現(xiàn)全自動、半自動、手動三種控制方式,操作靈活。