利用低溫等離子凈化設(shè)備中的介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含較高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。低溫等離子的放電效果和空氣的濕度有極大的關(guān)系，濕度越大能耗越大，大量能量會被水分子吸收，從而降低電離效果。使用低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經(jīng)過放電系統(tǒng)，對于氣體帶來很大安全隱患，容易造成火災(zāi)等重大安全事故。

　燃燒法只在揮發(fā)性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

　　排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理，可以達到95％一99％。

　　熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會導(dǎo)致二次污染。

低溫等離子設(shè)備的技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的效果下，介質(zhì)放電發(fā)生的大量攜能電子炮擊污染物分子，使其電離、解離和激起，然后便引發(fā)了一系列雜亂的物理、化學(xué)反應(yīng)，使雜亂大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹喡孕》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去掉。因其電離后發(fā)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)操控反應(yīng)條件能夠完成通常情況下難以完成或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得非常疾速。作為環(huán)境污染處理范疇中的一項具有極強潛在優(yōu)勢的高新技能，等離子體受到了國內(nèi)外有關(guān)學(xué)科界的高度重視。

   化學(xué)除臭法：利用臭氣成分與化學(xué)藥液的主要成分間發(fā)生不可逆的化學(xué)反應(yīng)，生成新的無臭物質(zhì)以達到脫臭的目的；因臭氣成分的不同需要選擇相應(yīng)的化學(xué)藥劑。垃圾除臭設(shè)備垃圾除臭設(shè)備的主要方法有：空氣氧化法、化學(xué)氧化法、洗滌-吸附法、吸附-氧化法等。

生物除臭法：利用微生物將臭味氣體中的有機污染物降解，或轉(zhuǎn)化為無害或低害類物質(zhì)的過程。主要方法有：生物過濾法、土壤法、填充塔式生物脫臭法等。