DWS型電容測微儀是電容不接觸式通用性精密測量儀器，它既是測振儀，又是測微儀，既能測量動態(tài)位移，又能測量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。首先由傳感器感受微位移的變化，并將其轉(zhuǎn)換成電容量的變化，然后經(jīng)過信號轉(zhuǎn)換電路將電容量的變化轉(zhuǎn)換成可測的電壓信號，然后利用A/D轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)信號的采集，由單片機進(jìn)行信號的處理和傳輸。儀器遠(yuǎn)銷國內(nèi)外，收到國內(nèi)外用戶的一致好評。

從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。在眾多的測量儀器當(dāng)中，非接觸式測量儀器由于其自身的優(yōu)點，成為微位移測量領(lǐng)域的主流研究方向之一。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進(jìn)行優(yōu)勢互補，相輔相成。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。